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原文传递一种软膜载盘搬运机构

专利名称：	一种软膜载盘搬运机构
摘要：	本实用新型公开了一种软膜载盘搬运机构，包括真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；软膜载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。真空吸笔竖向布置，真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，微调机构为具备螺纹的旋钮。吸笔固定盘上具备指向载盘的吹拂孔。采用此实用新型实现空载盘装软膜的批量作业，将栽盘竖向堆叠存放，占地面积小，效率高。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州光舵微纳科技股份有限公司
发明人：	刘晓成;史晓华
专利状态：	有效
申请号：	CN201820798792.5
公开号：	CN208413336U
代理机构：	苏州华博知识产权代理有限公司 32232
代理人：	徐典
分类号：	B65H5/10(2006.01)I;B;B65;B65H;B65H5
申请人地址：	215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区(四海路11号)科创园2号楼102
主权项：	1.一种软膜载盘搬运机构，其特征在于，包括：真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，所述真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，所述空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；所述机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。
所属类别：	实用新型