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一种高灵敏度传感器及其制备方法
| 专利名称： | 一种高灵敏度传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开一种高灵敏度传感器及其制备方法，其中，所述方法包括步骤：在烧结体基片表面制备柱状阵列碳纳米管膜；将气敏材料涂覆在所述表面生长有柱状阵列碳纳米管膜的烧结体基片上，进行烧结处理，得到气敏烧结体；将加热丝放入所述气敏烧结体中，按照旁热式器件常规工艺进行焊接、封装、电老化，制成高灵敏度传感器。本发明通过在烧结体基片表面上制备柱状阵列碳纳米管膜，不仅增加了烧结体基片的比表面积，从而增加气敏材料涂覆在烧结体基片单位面积上的量；进一步地，具有较佳气敏性能的碳纳米管自身还能够和涂覆在其表面的气敏材料发生协同作用，从而有效提升传感器的灵敏度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 安徽康佳同创电器有限公司 |
| 发明人： | 陶晓彦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810986430.3 |
| 公开号： | CN109270126A |
| 代理机构： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 |
| 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 239001 安徽省滁州市经济技术开发区金陵路与同乐路交汇处 |
| 主权项： | 1.一种高灵敏度传感器的制备方法，其特征在于，包括步骤：将烧结体基片放入石英管中，以酞菁铁作为碳源和催化剂，在氩气和氢气的流动气氛中进行加热处理，得到表面生长有柱状阵列碳纳米管膜的烧结体基片；将预先配制的气敏材料涂覆在所述表面生长有柱状阵列碳纳米管膜的烧结体基片上，进行烧结处理，得到气敏烧结体；将加热丝放入所述气敏烧结体中，按照旁热式器件常规工艺进行焊接、封装、电老化，制成高灵敏度传感器。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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