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原文传递一种高灵敏度柔性湿度传感器及其制备方法

专利名称：	一种高灵敏度柔性湿度传感器及其制备方法
摘要：	本发明公开了一种高灵敏度柔性湿度传感器及其制备方法，该方法包含：将柔性塑料板作为基板的叉指电极采用浓双氧水和浓硫酸的混合液浸泡后，烘干，重复直至基板表面呈现亲水性；将甲酸镁加入乙醇中，使甲酸镁均匀分散在乙醇中；将Au纳米颗粒加入到甲酸镁的乙醇溶液中，混合后利用区域沉积法使混合溶液在处理后的基板上形成15～20μm的薄膜，烘干，得到柔性湿度传感器。其中，Au纳米颗粒采用HAuCl4制备获得，甲酸镁和HAuCl4的比例为100mg：3～27mmol。本发明的方法可获得检测湿度范围广、灵敏度高的柔性湿度传感器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西京学院
发明人：	刘守法;豆素勤;吴松林;马世臣;王新元
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201910357635.X
公开号：	CN109975370A
代理机构：	北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：	马超前
分类号：	G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	710100 陕西省西安市长安区西京路1号
主权项：	1.一种高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，该方法包含：将柔性塑料板作为基板的叉指电极采用浓双氧水和浓硫酸的混合液浸泡后，烘干，重复直至基板表面呈现亲水性；将甲酸镁加入乙醇中，使甲酸镁均匀分散在乙醇中；将Au纳米颗粒加入到甲酸镁的乙醇溶液中，混合后利用区域沉积法使混合溶液在处理后的基板上形成15～20μm的薄膜，烘干，得到柔性湿度传感器；其中，所述Au纳米颗粒采用HAuCl4制备获得；其中，所述甲酸镁和HAuCl4的比例为100mg：3～27mmol。 2.根据权利要求1所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述Au纳米颗粒的制备，将HAuCl4加热，回流，加入柠檬酸钠，持续加热回流，至溶液由黄色转变为红褐色，获得Au纳米颗粒。 3.根据权利要求2所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述HAuCl4与柠檬酸钠的摩尔比为3～27：0.0388。 4.根据权利要求1所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述甲酸镁和乙醇的比例为100mg：1～3mL。 5.根据权利要求1所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述浓双氧水和浓硫酸的体积比为1：2～3。 6.根据权利要求1所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述双氧水浓度为30％，浓硫酸浓度为98％。 7.根据权利要求1所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述浸泡后在60～80℃烘干。 8.根据权利要求1所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述Au纳米颗粒和甲酸镁的乙醇溶液混合滴于基板后在60～80℃烘干。 9.根据权利要求1～8中任意一项所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述叉指电极，采用丙酮清洗，将银胶涂抹在基板末端，粘合电极与引脚，在100～110℃加热处理，冷却，再将乳胶涂于引脚与基板连接处，再次在100～110℃烘干，冷却。 10.一种高灵敏度柔性湿度传感器，其特征在于，该传感器采用如权利要求1～9中任意一项所述的高灵敏度柔性湿度传感器的制备方法获得。
所属类别：	发明专利