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一种透明柔性湿度传感器及其制备方法
| 专利名称： | 一种透明柔性湿度传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明提供了一种透明柔性湿度传感器及其制备方法，包括：柔性衬底、柔性导电薄膜、共面波导谐振电路以及湿度敏感柔性薄膜。其中：柔性衬底具有高的光透过率以及可弯曲、拉伸等特点；所述的柔性导电薄膜具有低的方块电阻和高的光透过率的物理特性，所述的湿度敏感柔性薄膜均匀地旋涂于柔性导电薄膜表面，其特征在于：柔性衬底与柔性导电薄膜形成一个可弯曲、拉伸，低损耗以及具有高光透过率的谐振电路，湿度敏感柔性薄膜作为所述谐振电路谐振频率的一个调控单元。本发明所述透明柔性湿度传感器具有柔性可拉伸、高透明度、成本低廉、制备简单、高灵敏性的优势，可广泛应用于可穿戴电子器件、柔性电子以及作为“电子皮肤”等领域。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 成都信息工程大学 |
| 发明人： | 杨燕;赵健雄;陈霞 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810957940.8 |
| 公开号： | CN109085204A |
| 代理机构： | 北京元本知识产权代理事务所 11308 |
| 代理人： | 常桑 |
| 分类号： | G01N27/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/04 |
| 申请人地址： | 610225 四川省成都市西南航空港经济开发区学府路一段24号 |
| 主权项： | 1.一种透明柔性湿度传感器，包括：透明柔性衬底(1)，柔性导电薄膜(2)，共面波导谐振电路(3)，以及湿度敏感柔性薄膜(4)；其中：所述透明柔性衬底由PDMS制成，透明柔性衬底(1)的顶面设有氧化铟锡(ITO)导电薄膜(2)，共面波导谐振电路(3)通过激光刻蚀导电薄膜而成，ITO导电薄膜(2)表面有一层湿度敏感柔性薄膜(4)，该薄膜通过旋涂聚乙烯醇(PVA)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)混合溶液烘干制备而成；连接微波电路时，将同轴线的插座安装在接地板的背面，外导体直接接在接地板上，同轴线的内导体即同轴探针穿过接地板和透明柔性衬底(1)接在导电薄膜(2)上；所述柔性衬底与柔性导电薄膜形成一个可弯曲、拉伸，低损耗以及具有高光透过率的谐振电路，湿度敏感柔性薄膜作为所述谐振电路谐振频率的一个调控单元。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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