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原文传递一种柔性湿度电子传感器及其制备方法

专利名称：	一种柔性湿度电子传感器及其制备方法
摘要：	本发明公开一种柔性湿度电子传感器，包括柔性衬底，所述柔性衬底上设有石墨烯层，所述石墨烯层分别与第一电极和第二电极电接触；所述石墨烯层上设有固态电解质层，所述固态电解质层与第一电极、第二电极和第三电极电接触。在可弯折的柔性衬底上设置固态电解质层作为感应层，再设置石墨烯和电极构成场效应晶体管，去掉了硬质的电极基板，从而能够通过弯折来调节传感器形状，保证检测感应面积的情况下减少占用的空间和尺寸，从而提高了湿度电子传感器的适用范围，能够更方便地应用到可穿戴设备上。本发明还公开一种上述柔性湿度电子传感器的制备方法。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	电子科技大学
发明人：	王志明;刘德胜;余鹏;童鑫;林峰;巫江
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201910542160.1
公开号：	CN110286150A
代理机构：	成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	李华;温黎娟
分类号：	G01N27/414(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	610054 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
主权项：	1.一种柔性湿度电子传感器，包括柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底上设有石墨烯层，所述石墨烯层分别与第一电极和第二电极电接触；所述石墨烯层上设有固态电解质层，所述固态电解质层与第一电极、第二电极和第三电极电接触。 2.如权利要求1所述的柔性湿度电子传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极与石墨烯层的边缘接触。 3.如权利要求2所述的柔性湿度电子传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极分设在石墨烯层的对边边缘。 4.如权利要求1所述的柔性湿度电子传感器，其特征在于，所述第一电极、第二电极和第三电极的构成材质为钛、铬、金中的一种或其中多种的组合。 5.如权利要求4所述的柔性湿度电子传感器，其特征在于，所述第一电极、第二电极和第三电极为钛层和金层叠加的复合电极，其中钛层的厚度为4-6nm，金层的厚度为45-55nm。 6.如权利要求1所述的柔性湿度电子传感器，其特征在于，所述固态电解质层为聚乙烯醇-磷酸材质的电解质膜。 7.一种柔性湿度电子传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在柔性衬底上设置石墨烯层；在柔性衬底上设置电极；蚀刻出石墨烯沟道；在石墨烯沟道上设置固态电解质层。 8.如权利要求7所述的柔性湿度电子传感器的制备方法，其特征在于，所述在柔性衬底上设置石墨烯层步骤，具体为：化学气相沉积法制备出石墨烯层，采用湿法转移将石墨烯层移动到柔性衬底表面。 9.如权利要求7所述的柔性湿度电子传感器的制备方法，其特征在于，所述在柔性衬底上设置电极的步骤，具体为：柔性衬底上设置光刻胶，在光刻胶上制作出电极图样，通过电子束蒸发在电极图样上蒸镀电极，除去光刻胶。 10.如权利要求9所述的柔性湿度电子传感器的制备方法，其特征在于，所述通过电子束蒸发在电极图样上蒸镀电极的步骤，具体为：在柔性衬底上蒸镀4-6nm厚的钛层或铬层，再在钛层或铬层上蒸镀45-55nm厚的金层。
所属类别：	发明专利