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一种检测丙酮气体的传感器及制备方法
| 专利名称： | 一种检测丙酮气体的传感器及制备方法 |
| 摘要： | 一种检测丙酮气体的传感器及制备方法，属于传感器技术领域。它提供一种能够减少干扰气体、增大与检测气体接触面积的检测丙酮气体的传感器。所述防干扰装置设置在封装外壳内且位于封装外壳的通气孔处，用于吸收干扰气体，所述传感器本体的绝缘层和气敏层之间设有多个通气腔，通气腔能够增加丙酮气体与气敏层的接触面积。一种检测丙酮气体的传感器制备方法：步骤一，制备传感器本体，在基底的支撑层上先形成SiO2绝缘膜；然后，再在支撑层上溅射加热电极和检测电极；之后在加热电极和检测电极上溅射SiO2绝缘膜形成绝缘层，且绝缘层与硅支撑板粘接，硅支撑板与硅晶片粘接。本发明提高了丙酮的测量精度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 黑龙江;23 |
| 申请人： | 东北农业大学;黑龙江省网络空间研究中心 |
| 发明人： | 谷俊涛;孔庆明;曲家兴;孙威;董守田 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811362130.4 |
| 公开号： | CN109270123A |
| 代理机构： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 |
| 代理人： | 高媛 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市香坊区公滨路木材街59号 |
| 主权项： | 1.一种检测丙酮气体的传感器，包括传感器本体（1）及封装外壳（2）；所述传感器本体（1）固定封装在封装外壳（2）内，其特征在于：所述检测丙酮气体的传感器还包括防干扰装置（3），所述防干扰装置（3）设置在封装外壳（2）内且位于封装外壳（2）的通气孔（2‑3）处，用于吸收干扰气体，所述传感器本体（1）的绝缘层（1‑4）和气敏层（1‑5）之间设有多个通气腔，通气腔能够增加丙酮气体与气敏层（1‑5）的接触面积。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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