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原文传递一种检测丙酮气体的传感器

专利名称：	一种检测丙酮气体的传感器
摘要：	一种检测丙酮气体的传感器，属于传感器技术领域。它提供一种能够减少干扰气体、增大与检测气体接触面积的检测丙酮气体的传感器。所述防干扰装置设置在封装外壳内且位于封装外壳的通气孔处，用于吸收干扰气体，所述传感器本体的绝缘层和气敏层之间设有多个通气腔，通气腔能够增加丙酮气体与气敏层的接触面积。一种检测丙酮气体的传感器制备方法：步骤一，制备传感器本体，在基底的支撑层上先形成SiO2绝缘膜；然后，再在支撑层上溅射加热电极和检测电极；之后在加热电极和检测电极上溅射SiO2绝缘膜形成绝缘层，且绝缘层与硅支撑板粘接，硅支撑板与硅晶片粘接。本实用新型提高了丙酮的测量精度。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	黑龙江;23
申请人：	东北农业大学
发明人：	谷俊涛;孔庆明;曲家兴;孙威;董守田
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201821883937.8
公开号：	CN209167184U
代理机构：	哈尔滨龙科专利代理有限公司
代理人：	高媛
分类号：	G01N27/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	150000 黑龙江省哈尔滨市香坊区公滨路木材街59号
主权项：	1.一种检测丙酮气体的传感器，包括传感器本体（1）及封装外壳（2）；所述传感器本体（1）固定封装在封装外壳（2）内，其特征在于：所述检测丙酮气体的传感器还包括防干扰装置（3），所述防干扰装置（3）设置在封装外壳（2）内且位于封装外壳（2）的通气孔（2-3）处，用于吸收干扰气体，所述传感器本体（1）的绝缘层（1-4）和气敏层（1-5）之间设有多个通气腔，通气腔能够增加丙酮气体与气敏层（1-5）的接触面积。 2.根据权利要求1所述的一种检测丙酮气体的传感器，其特征在于：所述传感器本体（1）包括基底（1-1）、支撑层（1-2）、加热层（1-3）、绝缘层（1-4）及气敏层（1-5）；所述支撑层（1-2）设置在基底（1-1）上，所述加热层（1-3）设置在支撑层（1-2）上，所述绝缘层（1-4）覆盖在支撑层（1-2）和加热层（1-3）上，所述气敏层（1-5）设置在绝缘层（1-4）上，所述加热层（1-3）上设置有加热电极（1-31）和检测电极（1-32）。 3.根据权利要求2所述的一种检测丙酮气体的传感器，其特征在于：所述封装外壳（2）包括上盖（2-1）及壳体（2-2），所述上盖（2-1）和壳体（2-2）可拆卸连接，上盖（2-1）上端面开设有多个通气孔（2-3），所述壳体（2-2）与基底（1-1）固定连接。 4.根据权利要求3所述的一种检测丙酮气体的传感器，其特征在于：所述防干扰装置（3）包括环形支撑圈（3-1）、吸水膜（3-2）、环形隔离圈一（3-3）、二氧化碳分离膜（3-4）、环形隔离圈二（3-5）、过滤网（3-6）及环形隔离圈三（3-7）；所述环形支撑圈（3-1）与壳体（2-2）内圆周面同心固定设置，所述环形支撑圈（3-1）上从下到上依次支撑有吸水膜（3-2）、二氧化碳分离膜（3-4）以及过滤网（3-6），所述二氧化碳分离膜（3-4）下端面通过固定环形隔离圈一（3-3）与吸水膜（3-2）间隔设置，所述过滤网（3-6）下端面通过固定环形隔离圈二（3-5）与二氧化碳分离膜（3-4）间隔设置，所述上盖（2-1）通过固定环形隔离圈三（3-7）与过滤网（3-6）间隔设置。 5.根据权利要求1所述的一种检测丙酮气体的传感器，其特征在于：所述绝缘层（1-4）上表面上固定有多个硅支撑板（1-7），所述多个硅支撑板（1-7）间隔平行设置并形成通气腔，多个硅支撑板（1-7）上固定支撑有硅晶片（1-6），所述硅晶片（1-6）和多个硅支撑板（1-7）上均溅射有气敏层（1-5）。 6.根据权利要求2所述的一种检测丙酮气体的传感器，其特征在于：所述加热电极（1-31）的材料为Ti、Pt或Au；所述检测电极（1-32）的材料为Pt或Au，所述气敏层（1-5）为SnO 2。
所属类别：	实用新型