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原文传递化学稳健的微型气体传感器

专利名称：	化学稳健的微型气体传感器
摘要：	本发明题为“化学稳健的微型气体传感器”。本发明提供了一种微型气体感测设备，所述微型气体感测设备包括嵌有多个第一加热元件的基于硅的基板。多个电极设置在所述基于硅的基板上。气体感测层覆盖所述电极。多孔或中孔吸附剂层选择性地过滤气体混合物中除目标气体之外的组分，并且允许所述目标气体到达所述气体感测层。所述第一加热元件可操作以周期性地再生至少所述气体感测层的感测能力。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	苹果公司
发明人：	闫淼磊;R·M·瑞贝罗
专利状态：	有效
申请号：	CN201810801155.3
公开号：	CN109283227A
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：	李玲
分类号：	G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	美国加利福尼亚
主权项：	1.一种微型气体感测设备，所述设备包括：基于硅的基板，所述基于硅的基板嵌有多个第一加热元件；多个电极，所述多个电极设置在所述基于硅的基板上；气体感测层，所述气体感测层覆盖所述多个电极；以及吸附剂层，所述吸附剂层被配置为选择性地过滤气体混合物中除目标气体之外的组分，并且允许所述目标气体到达所述气体感测层，其中所述第一加热元件可操作以周期性地再生至少所述气体感测层的感测能力。
所属类别：	发明专利