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原文传递石墨烯纳米电极加工装置

专利名称：	石墨烯纳米电极加工装置
摘要：	石墨烯纳米电极加工装置，包括驱动器、转接装置、探针安装夹、探针组件、XY向纳米移动平台和AFM控制器；AFM控制器通过控制线分别与驱动器和XY向纳米移动平台连接，驱动器通过转接装置与探针安装夹连接，探针组件安装在探针安装夹上，XY向纳米移动平台上可拆卸连接有硅基芯片；硅基芯片包括二氧化硅层、硅掺杂层和一对金电极，旋涂有PMMA的待加工的石墨烯片平铺装配到一对金电极上。本实用新型通过控制AFM垂直偏转信号以及加工速度，结合AFM的精确定位功能，按照事先规划好的加工路径，实现具有纳米间隙的石墨烯纳米级电极加工。本实用新型加工精度高、鲁棒性强、操作简单、灵活、成本低廉。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	平顶山学院
发明人：	解双喜;秦莉莉;王亚锋;贠革鑫;孔振威;李光喜;陈凡;曹森鹏;赵志敏;代克杰
专利状态：	有效
申请号：	CN201821245940.7
公开号：	CN208459324U
代理机构：	郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131
代理人：	朱俊峰
分类号：	G01N27/30(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	467000 河南省平顶山市新城区未来路南段
主权项：	1.石墨烯纳米电极加工装置，其特征在于：包括驱动器、转接装置、探针安装夹、探针组件、XY向纳米移动平台和AFM控制器；AFM控制器通过控制线分别与驱动器和XY向纳米移动平台连接，驱动器通过转接装置与探针安装夹连接，探针组件安装在探针安装夹上，XY向纳米移动平台位于探针组件下方，XY向纳米移动平台上可拆卸连接有硅基芯片；硅基芯片包括二氧化硅层、硅掺杂层和一对金电极，二氧化硅层设置在硅掺杂层上，一对金电极设置在二氧化硅层顶部，金电极的上表面凸出于二氧化硅层的上表面，旋涂有PMMA的待加工的石墨烯片平铺装配到一对金电极上。
所属类别：	实用新型