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原文传递 电子捕获检测器、检测单元及清洗方法、分析方法及装置
专利名称: 电子捕获检测器、检测单元及清洗方法、分析方法及装置
摘要: 本发明提供电子捕获检测器、检测单元及清洗方法、分析方法及装置。减少起因于检测单元的噪声。电子捕获检测器的检测单元的清洗方法具备向电子捕获检测器的检测单元导入清洗气体的工序,该电子捕获检测器的检测单元具备线源、试样气体导入口以及集电极,该线源用于放射放射线,该试样气体导入口用于导入试样气体。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 日本;JP
申请人: 株式会社岛津制作所
发明人: 内山新士
专利状态: 有效
申请号: CN201810818485.3
公开号: CN109298120A
代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人: 刘新宇;张会华
分类号: G01N30/70(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30
申请人地址: 日本京都府
主权项: 1.一种电子捕获检测器的检测单元的清洗方法,其中,该电子捕获检测器的检测单元的清洗方法具备向电子捕获检测器的检测单元导入清洗气体的工序,该电子捕获检测器的检测单元具备线源、试样气体导入口以及集电极,该线源用于放射放射线,该试样气体导入口用于导入试样气体。
所属类别: 发明专利
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