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原文传递旋转夹持装置

专利名称：	旋转夹持装置
摘要：	本发明涉及一种旋转夹持装置，其包括：基座；夹持器，可对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	ULVAC韩国股份有限公司;爱发科股份有限公司
发明人：	赵显祐;姜明锡;郑之欢;汤山明;佐藤优
专利状态：	有效
申请号：	CN201880001714.0
公开号：	CN109311605A
代理机构：	北京尚伦律师事务所 11477
代理人：	张俊国
分类号：	B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	韩国京畿道
主权项：	1.一种旋转夹持装置，包括：基座；夹持器，对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。
所属类别：	发明专利