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原文传递借助硬掩模涂层图案化石墨烯

专利名称：	借助硬掩模涂层图案化石墨烯
摘要：	所公开技术的实施例包含使用光刻图案化技术图案化石墨烯薄片以用于生物传感器和电子应用。更具体地，本公开是针对借助硬掩模金属层图案化石墨烯薄片的方法。所述硬掩模金属层可以包含惰性金属，所述惰性金属可以在图案化工艺期间保护所述石墨烯薄片免受污染或损坏。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	纳米医学工程诊断学公司
发明人：	D·潘;B·戈德史密斯
专利状态：	有效
申请号：	CN201780037219.0
公开号：	CN109313189A
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人：	张全信;赵蓉民
分类号：	G01N33/543(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	1.一种用于图案化石墨烯的方法，其包括：将石墨烯薄片放置在晶片上；在所述石墨烯薄片上沉积金属层；在所述金属层上沉积光致抗蚀剂层；以及在所述光致抗蚀剂层上蚀刻图案以暴露所述金属层。
所属类别：	发明专利