原文传递
一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法
| 专利名称： | 一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法 |
| 摘要： | 本发明提供的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，首先利用脉冲激光对石墨烯进行图案化加工，得到具有拓扑结构的石墨烯，最后通过具有拓扑结构的石墨烯组装石墨烯气敏传感器；本发明通过设计不同图案种类及密度的拓扑结构，建立石墨烯图案‑缺陷‑气敏传感性能一一对应关系；本发明的制备过程安全、无污染、可在常温常压下开放环境中完成制备过程。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 陕西科技大学 |
| 发明人： | 叶晓慧;锁国权;齐明;杨凯;姚心成;羊奕帆;杨艳玲;张荔;侯小江;冯雷 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-05-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-16T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910378263.9 |
| 公开号： | CN110018205A |
| 代理机构： | 西安通大专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 徐文权 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 710021 陕西省西安市未央区大学园1号 |
| 主权项： | 1.一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，首先利用脉冲激光对石墨烯进行图案化加工，得到具有拓扑结构的石墨烯，最后通过具有拓扑结构的石墨烯组装石墨烯气敏传感器。 2.根据权利要求1所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，利用脉冲激光对石墨烯进行图案化加工的具体方法包括以下步骤： 步骤1，在载有石墨烯的柔性基底上设置阵列式布置的几何图案，得到具有几何图案的柔性基底，其中，两个相邻的几何图案之间的间距为50～1000μm；每个图案的边长为30～300μm； 步骤2，利用脉冲激光刻蚀掉步骤1中的具有几何图片的柔性基底中的几何图案，得到透明基底表面形成图案化石墨烯，所述图案化石墨烯具有拓扑结构的石墨烯。 3.根据权利要求2所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，所述几何图案为圆形、三角形、方形、椭圆形、波浪形、多边形、锯齿形或螺旋线形。 4.根据权利要求2所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，所述脉冲激光为纳秒激光、皮秒激光或飞秒激光。 5.根据权利要求2或4所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，脉冲激光的波长256～1100nm，激光功率1～100W。 6.根据权利要求2所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述柔性透明衬底为玻璃、聚甲基丙烯酸甲酯、聚二甲基硅氧烷或聚对苯二甲酸乙二醇。 7.根据权利要求2所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤2中，激光脉冲的参数：激光的功率密度1.0×105～100.0×105W/cm2；光斑的能量分布为均匀分布、高斯分布或多模分布；扫描速度10～500mm/s；激光频率1～100KHz。 8.根据权利要求2所述的一种图案化石墨烯气敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述石墨烯是通过化学气相沉积法制备所得，其中，石墨烯的层数为2～20层。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
