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石墨烯复合气体敏感材料、气敏传感器及其制作方法
| 专利名称： | 石墨烯复合气体敏感材料、气敏传感器及其制作方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯复合气体敏感材料、气敏传感器及其制作方法。所述的制作方法包括：在衬底上形成金属催化层的第一步骤；在所述金属催化层上形成石墨烯层的第二步骤；在所述石墨烯层上形成金属氧化物和/或金属修饰层的第三步骤；在所述金属氧化物和/或金属修饰层上形成石墨烯层的第四步骤；其中，所述第三步骤与第四步骤重复进行两次以上，从而形成多个石墨烯层与多个金属氧化物和/或金属修饰层交替层叠的结构。本发明提供的石墨烯复合气体敏感材料具有良好的气敏特性，能够在较低温度下工作，并且具有良好选择性、重复性，能够在多种气敏传感器中广泛应用，同时其制备工艺简单易实施，可控性好，适于规模化生产。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州甫一电子科技有限公司 |
| 发明人： | 刘瑞 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811624040.8 |
| 公开号： | CN109406581A |
| 代理机构： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 |
| 代理人： | 王锋 |
| 分类号： | G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号5幢生物纳米园A7楼205室 |
| 主权项： | 1.一种石墨烯复合气体敏感材料，其特征在于包括金属催化层、多个石墨烯层和多个金属氧化物和/或金属修饰层，其中一石墨烯层直接叠设在金属催化层上，且所述多个石墨烯层与所述多个金属氧化物和/或金属修饰层交替层叠设置，使所述石墨烯复合气体敏感材料具有三维多层复合结构，所述三维多层复合结构所含孔洞的孔径为0.1‑500nm，所述石墨烯复合气体敏感材料的比表面积为100‑5000m2/g。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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