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原文传递极紫外光容器检查方法

专利名称：	极紫外光容器检查方法
摘要：	本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	张俊霖;简上杰;吴尚颖;郑力凯;傅中其;刘柏村;陈立锐;郑博中;严涛南;陈家桢
专利状态：	有效
申请号：	CN201810709621.5
公开号：	CN109324062A
代理机构：	隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：	黄艳
分类号：	G01N21/90(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	中国台湾新竹市
主权项：	1.一种极紫外光容器检查方法，包含：提供一全景相机，适用于一极紫外光容器；通过该全景相机的一单次拍摄来获取该极紫外光容器的内部的一影像；以及基于该极紫外光容器的内部的该影像来量化该极紫外光容器内的污染程度。
所属类别：	发明专利