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原文传递变温平台及DLTS测试系统

专利名称：	变温平台及DLTS测试系统
摘要：	本发明提供了一种变温平台及DLTS测试系统，变温平台包括：水冷腔室、加热机构和至少两个探针臂；水冷腔室上设置至少一个放气口、至少一个抽气口、至少两个进水口以及至少两个出水口；加热机构包括加热板、热电阻和第一固定结构，第一固定结构将加热板固定在与水冷腔室的底面平行的平面上，第一固定结构将热电阻设置在加热板的下表面；探针臂包括第二固定结构和探针，第二固定结构的一端和水冷腔室的底面固定连接，第二固定结构的另一端和探针固定连接，使得探针垂直于加热板所在的平面，每个探针的导线的长度相等。缓解不能满足具有高温特性的半导体材料的测试需求的问题，达到满足具有高温特性的半导体材料的测试需求的技术效果。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国科学院半导体研究所
发明人：	赵万顺;闫果果;刘兴昉;张峰
专利状态：	有效
申请号：	CN201811372597.7
公开号：	CN109342503A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：	李佳
分类号：	G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	100083 北京市海淀区清华东路甲35号
主权项：	1.一种变温平台，其特征在于，包括：水冷腔室、加热机构和至少两个探针臂，所述加热机构和至少两个所述探针臂均设置在所述水冷腔室的内部；所述水冷腔室上设置有至少一个放气口(11)、至少一个抽气口(12)、至少两个进水口以及至少两个出水口；所述加热机构包括加热板(18)、热电阻(20)和第一固定结构，所述第一固定结构将所述加热板(18)固定在与所述水冷腔室的底面平行的平面上，所述加热板(18)与所述水冷腔室的底面之间具有间隔，所述第一固定结构将所述热电阻(20)设置在所述加热板(18)的下表面，所述加热板(18)的电源线(19)和所述热电阻(20)的信号线(21)均穿过所述水冷腔室；所述探针臂包括第二固定结构和探针(24)，所述第二固定结构的一端和所述水冷腔室的底面固定连接，所述第二同定结构的另一端和所述探针(24)固定连接，使得所述探针(24)垂直于所述加热板(18)所在的平面，所述探针(24)的导线(13)穿过所述水冷腔室，其中，每个所述探针臂的所述探针(24)的所述导线(13)的长度相等。
所属类别：	发明专利