专利名称: |
基于多材质物体相位提取的缺陷检测方法及检测装置 |
摘要: |
本发明提供一种基于多材质物体相位提取的缺陷检测方法及检测装置,包括设置同轴相衬成像参数;设置放射成像系统的曝光参数,获得所述放射成像系统的系统传递函数MTF(u,v)及其曲线;放置待成像物体,并在所述成像参数、所述曝光参数条件下对所述待成像物体成像,获得成像结果Id(x,y);对所述成像结果Id(x,y)进行相位抽取并计算所述待成像物体不同位置处的投影厚度,根据所述投影厚度确定所述待成像物体结构的相位信息;根据所述相位信息,对所述待成像物体进行缺陷检测。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
立讯精密工业(昆山)有限公司 |
发明人: |
周仲兴;徐加明;李水能;陈亮 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201811502369.7 |
公开号: |
CN109406550A |
代理机构: |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人: |
梁挥;祁建国 |
分类号: |
G01N23/041(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23 |
申请人地址: |
215324 江苏省昆山市锦溪镇锦商路851号 |
主权项: |
1.一种基于多材质物体相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)设置同轴相衬成像参数,所述成像参数包括光源到待成像物体的距离R1、待成像物体到探测器的距离R2;(2)设置放射成像系统的曝光参数,获得所述放射成像系统的系统传递函数MTF(u,v)及其曲线,其中,u,v分别是横轴和纵轴方向的空间频率;(3)放置待成像物体,并在所述成像参数、所述曝光参数条件下对所述待成像物体成像,获得成像结果Id(X,y),其中,x,y是空间位置坐标;(4)对所述成像结果Id(x,y)进行相位抽取并计算所述待成像物体不同位置处的投影厚度,根据所述投影厚度确定所述待成像物体结构的相位信息;(5)根据所述相位信息,对所述待成像物体进行缺陷检测;其中,步骤(4)中的所述相位信息包括组成待成像物体的不同材料的相位信息。 |
所属类别: |
发明专利 |