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原文传递热膨胀系数的测量装置和方法

专利名称：	热膨胀系数的测量装置和方法
摘要：	本发明公开了一种热膨胀系数的测量装置和方法，该装置包括：原位加热台，用于承载并加热样品；工作台，位于原位加热台一侧；微观悬臂，一端设置于所述工作台的顶部，另一端通过纳米探针与样品的表面接触，所述微观悬臂表面涂覆有反射层；激光源向所述微观悬臂投射激光束；激光反射放大模组接收所述微观悬臂上反射的激光束，放大后反射出去；以及信号接收和处理系统，所述光敏二极管阵列用于接收放大后的激光束信号并传递给信号处理系统，所述信号处理系统对激光束信号进行处理，从而获取样品的热膨胀系数。本发明利用激光反射放大原理，将样品热膨胀导致的纳米级的尺寸变化有效放大，从而达到精确测量热膨胀系数的目的。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	胜科纳米(苏州)有限公司
发明人：	刘兵海;华佑南;傅超;寥金枝;李晓旻
专利状态：	有效
申请号：	CN201811234017.8
公开号：	CN109406564A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：	朱琳
分类号：	G01N25/16(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N25
申请人地址：	215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507
主权项：	1.一种热膨胀系数的测量装置，其特征在于，包括：原位加热台，用于承载并加热样品；工作台，位于原位加热台一侧；微观悬臂，一端设置于所述工作台的顶部，另一端通过纳米探针与样品的表面接触，并且，所述微观悬臂表面涂覆有反射层；激光源，用于向所述微观悬臂投射激光束；激光反射放大模组，用于接收所述微观悬臂上反射的激光束，放大后反射出去；以及信号接收和处理系统，包括光敏二极管阵列和信号处理系统，所述光敏二极管阵列用于接收放大后的激光束信号并传递给信号处理系统，所述信号处理系统对激光束信号进行处理，从而获取样品的热膨胀系数。
所属类别：	发明专利