专利名称: |
多自由度样品杆 |
摘要: |
多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括驱动件,驱动件为压电陶瓷管,压电陶瓷管的呈中空的管体,压电陶瓷管一端与关节球固定,另一端安装于样品杆;压电陶瓷管具有内表面和外表面,压电陶瓷管的一个表面上设置多个导电区域组,每个导电区域组包括两个对称的导电区域,所有导电区域相互独立,每个导电区域有导电线;压电陶瓷管的另一个表面为整区域导电部。本发明具有具有X轴平移、Y轴平移和Z轴转动的三自由度,且在重复使用中性能稳定的优点。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
浙江;33 |
申请人: |
浙江大学 |
发明人: |
王宏涛;张奕志 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201811034050.6 |
公开号: |
CN109425627A |
代理机构: |
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 |
代理人: |
黄芳 |
分类号: |
G01N23/2204(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23 |
申请人地址: |
310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
主权项: |
1.多自由度样品杆,其特征在于:样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括驱动件,驱动件为压电陶瓷管,压电陶瓷管的呈中空的管体,压电陶瓷管一端与关节球固定,另一端安装于样品杆;压电陶瓷管具有内表面和外表面,压电陶瓷管的一个表面上设置多个导电区域组,每个导电区域组包括两个对称的导电区域,所有导电区域相互独立,每个导电区域有导电线;压电陶瓷管的另一个表面为整区域导电部。 |
所属类别: |
发明专利 |