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一种集成于MOCVD的快速的在线PL测试系统设计及方法
| 专利名称： | 一种集成于MOCVD的快速的在线PL测试系统设计及方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种集成于MOCVD的快速的在线PL测试系统设计及方法，在设置的在位监测探头组中整合三个探头：第一探头与RT测试模块相对应，在外延生长过程中对反应腔内的外延片进行RT监测；第二探头与固体激光光源发射模组相对应，来向反应腔内的外延片发射PL测试用的激光；第三探头与反射激光信号收集模组相对应，对反应腔内的外延片对所述激光的反射光进行采集。所述固体激光光源发射模组及反射激光信号收集模组相配合，在外延生长结束自然冷却降温的过程中对反应腔内的外延片进行PL测试，以方便工程师获取测试参数来及时调整下炉量产的波长值，从而提升产出效率，提高外延生产良率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 发明人： | 马后永 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201710763018.0 |
| 公开号： | CN109425594A |
| 代理机构： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 |
| 代理人： | 周乃鑫;朱成之 |
| 分类号： | G01N21/63(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 201306 上海市浦东新区临港产业区新元南路555号金融中心211室 |
| 主权项： | 1.一种集成于MOCVD设备的在线PL测试系统，其特征在于，所述在线PL测试系统设置的在位监测探头组中，包含整合的三个探头：第一探头，其与RT测试模块相对应，对反应腔内的外延片进行RT监测；第二探头，其与固体激光光源发射模组相对应，来向反应腔内的外延片发射PL测试用的激光；第三探头，其与反射激光信号收集模组相对应，对反应腔内的外延片对所述激光的反射光进行采集。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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