专利名称: |
集成电路缺陷定位测试系统及实现方法 |
摘要: |
本发明提供一种集成电路缺陷定位测试系统及实现方法,属于电
子测试设备领域,涉及一种对集成电路缺陷进行定位测试的系统及系
统的实现方法。本发明所描述的系统中,主要包括有:控制分析单元,
激光发生器,激光分配器,激光扫描装置,声波震荡发生器,光学显
微装置,样品加电模块,微光探测装置,定额电流电压测量装置,定
额电压电流测量装置,以及减震台与暗室箱体等。利用本发明,可直
接对集成电路的各种不同类型缺陷,实现直观的物理位置缺陷定位功
能,能够及时、准确地发现集成电路的缺陷,从而改进产品质量、加
快研发速度、提高生产工艺水平。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
上海华碧检测技术有限公司 |
发明人: |
刘学森 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2008-05-09T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200810037221.0 |
公开号: |
CN101576565 |
分类号: |
G01N35/00(2006.01)I |
申请人地址: |
200433上海市杨浦区国定路335号1号楼8008 |
主权项: |
1.一种集成电路缺陷定位测试系统,其特征在于该系统包括:
控制分析单元,是装载有集成电路缺陷定位测试程序的微型计算
机,包括有用以对测试结果实现图像处理功能的程序,以及用以分析
电流电压测试数据的测试单元;
激光发生器,用于产生1064nm激光与1340nm激光的功能模块;
激光分配器,是连接在所述的激光发生器和激光扫描装置之间
的,用于分配不同强度和种类激光的功能模块;
激光扫描装置,是设置在激光与样品之间,用于实现激光在样品
表面的步进扫描功能的机电装置;
声波震荡发生器,是用于加载声波震荡并作用于样品的机电功能
装置;
光学显微装置,是用于对样品表面拍照的光学显微装置;
样品加电模块:是用于向被测试样品加载电子信号的电路模块,
包括有微探针装置、接口插槽、电流加载源和电压加载源;
微光探测装置,是一种探测样品的微光辐射的光电子信号的机电
功能模块;
定额电流电压测量装置,指的是能提供定额电流,并对被测试样
品的电压信号进行A/D转换,并传输到控制分析单元中的电路结构;
定额电压电流测量装置,指的是能提供定额电压,并对被测试样
品的电流信号进行A/D转换,并传输到控制分析单元中的电路结构;
减震台与暗室箱体,能提供减震功能与暗室功能,是承载样品台
及探测与测量装置的结构部件。 |
所属类别: |
发明专利 |