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集成电路缺陷定位测试系统及实现方法
| 专利名称： | 集成电路缺陷定位测试系统及实现方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种集成电路缺陷定位测试系统及实现方法，属于电 子测试设备领域，涉及一种对集成电路缺陷进行定位测试的系统及系 统的实现方法。本发明所描述的系统中，主要包括有：控制分析单元， 激光发生器，激光分配器，激光扫描装置，声波震荡发生器，光学显 微装置，样品加电模块，微光探测装置，定额电流电压测量装置，定 额电压电流测量装置，以及减震台与暗室箱体等。利用本发明，可直 接对集成电路的各种不同类型缺陷，实现直观的物理位置缺陷定位功 能，能够及时、准确地发现集成电路的缺陷，从而改进产品质量、加 快研发速度、提高生产工艺水平。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 上海华碧检测技术有限公司 |
| 发明人： | 刘学森 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2008-05-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200810037221.0 |
| 公开号： | CN101576565 |
| 分类号： | G01N35/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 200433上海市杨浦区国定路335号1号楼8008 |
| 主权项： | 1.一种集成电路缺陷定位测试系统，其特征在于该系统包括： 控制分析单元，是装载有集成电路缺陷定位测试程序的微型计算 机，包括有用以对测试结果实现图像处理功能的程序，以及用以分析 电流电压测试数据的测试单元； 激光发生器，用于产生1064nm激光与1340nm激光的功能模块； 激光分配器，是连接在所述的激光发生器和激光扫描装置之间 的，用于分配不同强度和种类激光的功能模块； 激光扫描装置，是设置在激光与样品之间，用于实现激光在样品 表面的步进扫描功能的机电装置； 声波震荡发生器，是用于加载声波震荡并作用于样品的机电功能 装置； 光学显微装置，是用于对样品表面拍照的光学显微装置； 样品加电模块：是用于向被测试样品加载电子信号的电路模块， 包括有微探针装置、接口插槽、电流加载源和电压加载源； 微光探测装置，是一种探测样品的微光辐射的光电子信号的机电 功能模块； 定额电流电压测量装置，指的是能提供定额电流，并对被测试样 品的电压信号进行A/D转换，并传输到控制分析单元中的电路结构； 定额电压电流测量装置，指的是能提供定额电压，并对被测试样 品的电流信号进行A/D转换，并传输到控制分析单元中的电路结构； 减震台与暗室箱体，能提供减震功能与暗室功能，是承载样品台 及探测与测量装置的结构部件。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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