详情

原文传递光学测量系统及方法

专利名称：	光学测量系统及方法
摘要：	本发明公开了光学测量系统及方法。该系统包括：入射光产生单元，其被配置为产生用于测量待测物的入射光；反射光检测单元，其被配置为接收来自待测物的反射光，并确定相应的测量结果；以及处理单元，并被配置为利用入射光在待测物表面上形成的光斑以指定测量路径对待测物进行测量，处理单元基于测量结果来确定缺陷在待测物中的分布。本发明的测量系统结构简单、检测速度快、成本低，并且杂散光较少，具有更高的检测灵敏度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳中科飞测科技有限公司
发明人：	刘涛;张凌云;张鹏斌;陈鲁
专利状态：	有效
申请号：	CN201710770825.5
公开号：	CN109425619A
代理机构：	北京永新同创知识产权代理有限公司 11376
代理人：	钟胜光
分类号：	G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518109 广东省深圳市龙华区大浪街道大浪工业园路1号凯豪达广场办公室A区1618室
主权项：	1.一种光学测量系统，其特征在于，包括：入射光产生单元，其被配置为产生用于测量待测物的入射光；反射光检测单元，其被配置为接收来自所述待测物的反射光，并确定相应的测量结果；以及处理单元，并被配置为利用所述入射光在所述待测物表面上形成的光斑以指定测量路径对所述待测物进行测量，所述处理单元基于所述测量结果来确定所述缺陷在所述待测物中的分布。
所属类别：	发明专利