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原文传递光学测量装置和光学测量方法

专利名称：	光学测量装置和光学测量方法
摘要：	本发明的光学测量装置(1)具备：光源(2)，其输出太赫兹波(T)和与太赫兹波(T)同轴且具有与该太赫兹波(T)不同的波长的同轴光(I)；强度调制部(3)，其以规定的调制频率对太赫兹波(T)和同轴光(I)中的至少太赫兹波(T)进行强度调制；以及光检测部(5)，其基于调制频率(f1)而分别对经强度调制部(3)作用于被测量物(S)的太赫兹波(T)和同轴光(I)进行同步检波。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	浜松光子学株式会社
发明人：	堀田和希;河田阳一;中西笃司;藤田和上;高桥宏典;里园浩
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201910144958.0
公开号：	CN110231299A
代理机构：	北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人：	杨琦;尹明花
分类号：	G01N21/3581(2014.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本静冈县
主权项：	1.一种光学测量装置，其中，具备：光源，其输出太赫兹波和与所述太赫兹波同轴且具有与所述太赫兹波不同的波长的同轴光；强度调制部，其以规定的调制频率对所述太赫兹波和所述同轴光中的至少所述太赫兹波进行强度调制；和光检测部，其基于所述调制频率而分别对经所述强度调制部作用于被测量物的所述太赫兹波和所述同轴光进行同步检波。 2.根据权利要求1所述的光学测量装置，其中，所述强度调制部具有切换部，该切换部基于所述调制频率，相对于所述太赫兹波和所述同轴光的光轴切换使所述同轴光的强度衰减的第一衰减区域和使所述太赫兹波的强度衰减的第二衰减区域。 3.根据权利要求1或2所述的光学测量装置，其中，所述光学测量装置具有聚光透镜，所述聚光透镜将所述太赫兹波和所述同轴光朝向所述强度调制部聚光。 4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学测量装置，其中，所述光学测量装置具备参照信号产生部，所述参照信号产生部基于所述调制频率产生相位互相反转的第一参照信号和第二参照信号，所述光检测部具有：第一锁定检测部，其基于所述第一参照信号锁定检测所述太赫兹波；和第二锁定检测部，其基于所述第二参照信号锁定检测所述同轴光。 5.根据权利要求4所述的光学测量装置，其中，所述光源以高于所述调制频率的重复频率输出所述太赫兹波和所述同轴光，所述光检测部具有前段锁定检测部，该前段锁定检测部在所述第一锁定检测部和所述第二锁定检测部的前段基于所述重复频率锁定检测所述太赫兹波和所述同轴光。 6.根据权利要求1所述的光学测量装置，其中，所述强度调制部具有：全反射棱镜，其具有所述太赫兹波和所述同轴光的入射面、出射面以及位于所述入射面和所述出射面之间的光路上的全反射面；和太赫兹波吸收体，其与所述全反射面相对地配置，在将所述全反射面上的所述太赫兹波的倏逝波的穿透深度设为dt，将所述全反射面上的所述同轴光的倏逝波的穿透深度设为dm时，在所述太赫兹波吸收体与所述全反射面的间隔d满足dm
所属类别：	发明专利