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反射差分光学测量装置及其测量方法
| 专利名称： | 反射差分光学测量装置及其测量方法 |
| 摘要： | 本公开提供了一种反射差分光学测量装置及其测量方法，包括入射源、入射源处理装置、分束器、反射差分组件、出射源处理装置和出射源；光束由入射源进入测量装置，并被入射源处理装置处理后形成平行光束；平行光束通过分束器后产生出射光束；出射光束通过反射差分组件垂直入射样品表面；通过样品表面的出射光束再顺次通过反射差分组件和分束器后，输入出射源处理装置；通过出射源处理装置的出射光束汇聚进入出射源；相对于样品表面的入射光束和出射光束间的夹角为0°。本公开中分束器的设置，将入射光路与出射光路整合到一套装置中，体积小重量轻，性能可靠，垂直入射的光学结构，实现不限长度的工作距离，测量精度不受工作距离影响，易于调整。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 胡春光;孙兆阳;霍树春;沈万福;谢鹏飞;胡晓东;胡小唐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810536028.5 |
| 公开号： | CN108732106A |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| 代理人： | 李坤 |
| 分类号： | G01N21/21(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/21 |
| 申请人地址： | 300354 天津市津南区海河教育园区雅观路135号 |
| 主权项： | 1.一种反射差分光学测量装置，包括：入射源；入射源处理装置，对所述入射源的光进行处理以输出平行的入射光束；分束器，将入射源输出的入射光束反射进入光路，使通过分束器的出射光束继续透射到光路中；反射差分组件，对入射光束和/或出射光束进行偏振态和/或相位延迟上的调制；出射源处理装置，使出射光束汇聚进入出射源；出射源，收集出射光束并将其输出测量装置；所述样品表面的入射光束和出射光束间的夹角为0°。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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