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原文传递一种分时复用的反射异性差分光学测量装置及方法

专利名称：	一种分时复用的反射异性差分光学测量装置及方法
摘要：	本公开提出了一种分时复用的反射异性差分光学测量装置及方法，包括：偏振器及光学斩波器；所述偏振器将样品的反射光束分离为两束线性偏振光；所述光学斩波器阻挡所述线性偏振光中的一束光束，并选择另一束线性偏振光的传播，将其传递到光路中，通过不同时段对不同光路的信号采集实现对反射光测量的分时复用。本公开抗干扰能力强、性能可靠、使用方便；偏振器、光学斩波器和Y型光纤的使用，使得不需旋转样品或者光学元件可获取样品的反射差分信息，减少了误差的引入，系统抗干扰能力强、性能可靠，使用更加方便。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	山东大学
发明人：	张雷;王译那;姜明顺;张法业;隋青美;贾磊
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201910647239.0
公开号：	CN110320160A
代理机构：	济南圣达知识产权代理有限公司
代理人：	李圣梅
分类号：	G01N21/21(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	250061 山东省济南市历下区经十路17923号
主权项：	1.一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，包括：偏振器及光学斩波器；所述偏振器将样品的反射光束分离为两束线性偏振光；所述光学斩波器阻挡所述线性偏振光中的一束光束，并选择另一束线性偏振光的传播，将其传递到光路中，通过不同时段对不同光路的信号采集实现对反射光测量的分时复用。 2.如权利要求1所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述测量装置还包括光源、入射光纤、离轴抛物面反射镜及样品台；所述光源提供非偏振的宽光谱光束；所述入射光纤传导所述光源输出的光束；所述离轴抛物面反射镜对所述入射光纤输出的光进行处理输出平行的入射光束，入射到位于样品台上的样品表面。 3.如权利要求1所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述测量装置还包括：第一凹面汇聚镜、第一准直镜第二凹面汇聚镜、第二准直镜、出射光纤及光谱仪；通过光学斩波器选择其中一束线性偏振光继续传播，经第一凹面汇聚镜或第二凹面汇聚镜汇聚进入第一准直镜或第二准直镜，通过出射光纤传递到光谱仪进行信号采集。 4.如权利要求1所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述光学斩波器包括：光学挡板，用于阻挡所述偏振器输出的线性偏振光中的一束光；以及控制器，与所述光学挡板连接并通过调控其遮挡角度，实现对某路光束的遮挡，即实现对另一路光束的选择。 5.如权利要求1所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述偏振器选用洛匈棱镜或偏振分束器件中的格兰-汤姆逊棱镜。 6.如权利要求3所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述出射光纤选用Y型光纤。 7.如权利要求3所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述第一凹面汇聚镜与第二凹面汇聚镜的性能参数要一致。 8.如权利要求3或7所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述第一凹面汇聚镜与第二凹面汇聚镜选用焦距25mm的紫外增强铝膜凹面反射镜。 9.如权利要求2所述的一种分时复用的反射异性差分光学测量装置，其特征是，所述离轴抛物面反射镜选用反射焦距50.8mm的紫外增强铝涂层的90°离轴抛物面镜。 10.一种分时复用的反射异性差分光学测量方法，其特征是，包括：对光源提供的光进行处理以产生平行的入射光束至样品表面；将样品的反射光束分离为两束线性偏振光；选择所述两束线性偏振光中的一束光继续传播到光路中；将选择输出的光束进行信号采集。
所属类别：	发明专利