专利名称: |
用于功能薄膜的电学测试装置 |
摘要: |
本发明公开一种用于功能薄膜的电学测试装置,包括电极固定基座、4个铜导线、4个金属铟柱、电压表和电流表,所述电极固定基座开有4个由上置物孔和下置物孔连接的安装通孔,所述铜导线位于下置物孔内,所述金属铟柱位于上置物孔内并与铜导线焊接连接,一压力机构安装于电极固定基座上,测试样品上表面和下表面分别与压力机构的下端和金属铟柱接触,第一双刀双掷开关、第二双刀双掷开关、第三双刀双掷开关和第四双刀双掷开关均包括2个动端、2个通路静端和2个断路静端。本发明电学测试装置保证测试装置的持久耐用,测试的数据准确率更高,并保持被测试样品和电极的接触更好,能准确、方便、可重复地测试薄膜电阻率。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
苏州科技大学 |
发明人: |
张晓渝;臧涛成;葛丽娟;马春兰;邢园园 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201811580281.7 |
公开号: |
CN109444222A |
代理机构: |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人: |
王健 |
分类号: |
G01N27/04(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
申请人地址: |
215009 江苏省苏州市高新区科锐路1号 |
主权项: |
1.一种用于功能薄膜的电学测试装置,其特征在于:包括电极固定基座(1)、4个铜导线(2)、4个金属铟柱(3)、电压表(9)和电流表(11),所述电极固定基座(1)开有4个由上置物孔(7)和下置物孔(8)连接的安装通孔(10),所述铜导线位于下置物孔(8)内,所述金属铟柱(3)位于上置物孔(7)内并与铜导线(2)焊接连接,一压力机构(5)安装于电极固定基座(1)上,测试样品(4)上表面和下表面分别与压力机构(5)的下端和金属铟柱(3)接触;第一双刀双掷开关(12)、第二双刀双掷开关(13)、第三双刀双掷开关(14)和第四双刀双掷开关(15)均包括2个动端、2个通路静端和2个断路静端;所述第一双刀双掷开关(12)的2个动端(121、122)分别通过导线与4个铜导线(2)中的2个铜导线(2)电连接,第一双刀双掷开关(12)的2个通路静端(123、124)分别与第三双刀双掷开关(14)和第四双刀双掷开关(15)的对应的一个动端(141、151)连接;所述第二双刀双掷开关(13)的2个动端(131、132)分别通过导线与4个铜导线(2)中的另2个铜导线电连接,第二双刀双掷开关(13)的2个通路静端(133、134)分别与第三双刀双掷开关(14)和第四双刀双掷开关(15)的对应的另一个动端(142、152)连接;所述电流表(11)跨接于第三双刀双掷开关(14)的一个通路静端(143)和第四双刀双掷开关(15)的对应的一个通路静端(153)之间,所述电压表(9)跨接于第三双刀双掷开关(14)的另一个通路静端(144)和第四双刀双掷开关(15)的对应的另一个通路静端(154)之间。 |
所属类别: |
发明专利 |