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用于分子检测的分子载体的制备方法
| 专利名称： | 用于分子检测的分子载体的制备方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于分子检测的分子载体的制备方法，其包括以下步骤：在一基底上设置一中间层；提供一具有多个微孔的碳纳米管复合结构，该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管结构以及一包覆于该碳纳米管结构表面的预制层；将所述碳纳米管复合结构设置于所述中间层的表面上，使所述中间层的表面部分暴露；以该碳纳米管复合结构为掩模干法刻蚀所述中间层，得到一具有图案化凸起的中间层；以及在所述图案化凸起的表面沉积一金属层。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 发明人： | 王营城;金元浩;李群庆;范守善 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201710807474.0 |
| 公开号： | CN109470680A |
| 分类号： | G01N21/65(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |
| 主权项： | 1.一种用于分子检测的分子载体的制备方法，其包括以下步骤：在一基底上设置一中间层；提供一具有多个微孔的碳纳米管复合结构，该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管结构以及一包覆于该碳纳米管结构表面的预制层；将所述碳纳米管复合结构设置于所述中间层的表面上，使所述中间层的表面部分暴露；以该碳纳米管复合结构为掩模干法刻蚀所述中间层，得到一具有图案化凸起的中间层；以及在所述图案化凸起的表面沉积一金属层。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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