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原文传递一种单晶硅棒切片装置

专利名称：	一种单晶硅棒切片装置
摘要：	本实用新型涉及一种单晶硅棒切片装置，包括工作台、手工取片工装和线锯切割运行机构；工作台上具有线锯让位槽，线锯让位槽自工作台顶面向下开设；手工取片工装包括磁性表座、万向支臂和切片吸盘，万向支臂一端与磁性表座连接，万向支臂的另一端与切片吸盘连接，手工取片工装位于工作台上，切片吸盘用于待切片的单晶硅棒的端面；线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构，线锯切割单元位于工作台的上方，线锯切割单元经由提升机构与机架固定，所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。在本装置中手工取片工装，装夹待切割单晶硅片，装夹效率高，单晶硅片的吸附稳定可靠，操作简单。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福州天瑞线锯科技有限公司
发明人：	朱文志;李波;林冬;黄田玉;林孝狮;汤文博;林光展
专利状态：	有效
申请号：	CN201820710729.1
公开号：	CN208645714U
代理机构：	福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人：	林祥翔;张忠波
分类号：	B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	350100 福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号
主权项：	1.一种单晶硅棒切片装置，其特征在于，所述切片装置包括工作台、手工取片工装和线锯切割运行机构；所述工作台上具有线锯让位槽，所述线锯让位槽自工作台顶面向下开设，所述工作台用于放置待切割单晶硅棒；所述手工取片工装包括磁性表座、万向支臂和切片吸盘，所述万向支臂一端与磁性表座连接，万向支臂的另一端与切片吸盘连接，手工取片工装位于工作台上，所述切片吸盘用于待切片的单晶硅棒的端面；所述线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构，所述线锯切割单元位于工作台的上方，线锯切割单元经由提升机构与机架固定，所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。
所属类别：	实用新型