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原文传递气体传感器及其制造方法

专利名称：	气体传感器及其制造方法
摘要：	本发明的实施方式涉及气体传感器。提供具有足够的性能的气体传感器。实施方式的气体传感器包括基板区域和设置于所述基板区域上的第1电极。气体传感器还包括可动构造，该可动构造设置于所述第1电极的上方，包括通过吸收或者吸附预定的气体而变形的变形部件、用于对所述变形部件进行加热的加热部件以及第2电极。在所述第1电极与所述第2电极之间设置有第1空洞区域。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社东芝
发明人：	池桥民雄;山崎宏明
专利状态：	有效
申请号：	CN201810211511.6
公开号：	CN109521065A
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：	肖靖
分类号：	G01N27/22(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种气体传感器，具备：基板区域；第1电极，设置于所述基板区域上；可动构造，设置于所述第1电极的上方，并且包括通过吸收或者吸附预定的气体而变形的变形部件、用于对所述变形部件进行加热的加热部件以及第2电极；以及第1空洞区域，设置于所述第1电极与所述第2电极之间。
所属类别：	发明专利