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多线切割装置、多线切割方法及其用途
| 专利名称： | 多线切割装置、多线切割方法及其用途 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多线切割装置、多线切割方法及其用途，涉及多线切割领域，该多线切割装置包括：至少一对平行线轴，以及，缠绕于所述线轴上的多根平行线锯组成的线网；其中，所述线锯与所述平行线轴的垂线倾斜设置。利用该多线切割装置能够缓解现有衬底晶片切割精度低，角度偏差超标的技术问题，达到提高切割精度的技术效果。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 福建;35 |
| 申请人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 发明人： | 林武庆;张洁;苏双图;赖柏帆 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201910065764.1 |
| 公开号： | CN109531844A |
| 代理机构： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
| 代理人： | 蒋姗 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 362200 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦 |
| 主权项： | 1.一种多线切割装置，其特征在于，包括：至少一对平行线轴，以及，缠绕于所述线轴上的多根平行线锯组成的线网；其中，所述线锯与所述平行线轴的垂线倾斜设置。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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