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原文传递一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室

专利名称：	一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室
摘要：	本实用新型提供了一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，包括室仓和除尘机构，室仓包括多个隔板和推拉门，隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，隔板的上方还设有除尘机构；除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，风机过滤单元设置于室仓的外部，离子棒设置于室仓的内部；化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，离子棒固定于出风通孔处。本实用新型保障了硅片不受到颗粒、AMC的污染，使目检工作有效进行。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	麦斯克电子材料有限公司
发明人：	熊诚雷;吴跃峰
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201821468651.3
公开号：	CN209182221U
代理机构：	洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人：	逯雪峰
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	471000 河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号
主权项：	1.一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：包括室仓和除尘机构，所述室仓包括多个隔板和推拉门，所述隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，其中一个隔板上还预留供人进入暗室的入口，所述推拉门设置于暗室的入口处，所述隔板还接有多个支柱，支柱的一端连接于隔板下方的侧边，支柱的另一端放置于地面上，所述隔板与地面之间预留出风间隙，隔板的上方还设有除尘机构；所述除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，所述化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，所述风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，所述的风机过滤单元设置于室仓的外部，所述的离子棒设置于室仓的内部；所述化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，所述盒体为矩形壳体，所述隔板垂直固定于盒体的底面，盒体的底面与室仓的顶面为密封连接，所述盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，所述离子棒固定于所述出风通孔处。 2.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：所述隔板包括金属框和黑色的有机玻璃板，有机玻璃板还通过金属框固定。 3.根据权利要求2所述的一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：所述金属框还包括边框和档杆，所述边框为矩形框，所述档杆沿水平方向设置，所述边框和所述档杆均为工字钢，所述有机玻璃板固定于档杆和边框之间。 4.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：所述推拉门包括吊轨和门板，所述吊轨固定于入口的顶部，所述门板还通过吊轮设置于吊轨的下方，所述门板可通过吊轮在吊轨上滑动。 5.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：所述进风通孔还连接风机过滤单元的出风口，风机过滤单元的进风口还设置于暗室外的大气中。 6.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：所述活性炭还设置于滤纸袋内，多个包裹有活性炭的滤纸袋经封口后设置于所述盒体中。
所属类别：	实用新型