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原文传递电极及电极制造方法

专利名称：	电极及电极制造方法
摘要：	本发明提供了一种电极，所述电极可包括基板、第一层和第二层。所述第一层可包含无机材料。所述第一层可进一步设置在所述基板和所述第二层之间。所述第二层可包含钌。所述第二层可进一步具有六边形致密结晶结构。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	美国圣戈班性能塑料公司
发明人：	A·迪盖;R·希维特
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-02T00:00:00+0800
申请号：	CN201780073669.5
公开号：	CN110088609A
代理机构：	北京坤瑞律师事务所
代理人：	封新琴
分类号：	G01N27/327(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	美国俄亥俄州
主权项：	1.一种电极，包括：基板；第一层，所述第一层包含无机材料；以及第二层，所述第二层包含钌，其中所述第二层具有六边形致密结晶结构；并且其中所述第一层设置在所述基板和所述第二层之间。 2.一种电极，包括：基板；第一层，所述第一层包含无机材料；以及第二层，所述第二层包含钌，其中所述第一层设置在所述基板和所述第二层之间；并且其中所述第二层具有至少约20的晶体取向比。 3.一种电极，包括：基板；以及第一层，所述第一层包含无机材料，所述无机材料具有较短的晶格参数a1；以及第二层，所述第二层包含钌，所述钌具有较短的晶格参数a2，其中a1和a2满足以下公式：5/6(a1/a2)＝x，其中x表示至少约0.98且不大于约1.02的值。 4.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述第二层具有至少约2.0Ohm/sq的薄片电阻。 5.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述无机材料包括结晶材料或多晶材料。 6.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述无机材料包括氧化物、金属氧化物、透明氧化物、透明金属氧化物、电介质化合物及其任何组合。 7.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述无机材料包括氧化锌、氧化铟、氧化锡、氧化镉及其任何组合。 8.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述无机材料包括氧化铝锌(AZO)、氧化铟锡(ITO)、氧化锑锡(ATO)、氧化氟锡(FTO)及其任何组合。 9.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述无机材料包括氧化铝锌(AZO)。 10.根据权利要求1和2中任一项所述的电极，其中所述第一层的所述无机材料具有较短的晶格参数a1并且所述第二层的所述金属具有较短的晶格参数a2，其中a1和a2满足以下公式：5/6(a1/a2)＝x，其中x表示至少约0.98且不大于约1.02的值。 11.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述第一层不含有氧化锡。 12.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述第一层不含有碳。 13.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述第一层具有不大于约20nm且至少约1nm的厚度。 14.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述第二层(或所述包含金属的层)的所述金属包括结晶材料和多晶材料。 15.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极，其中所述第二层具有至少约10nm且不大于约150nm的厚度。
所属类别：	发明专利