专利名称: |
电极和用于制造电极的方法 |
摘要: |
本发明提供了一种电极,所述电极可包括基板、粘合剂层、第一层和第二层。所述第一层可包括Ag、Cu、Ru或其组合。所述第二层可包括Au。所述第二层可具有不大于约25nm的厚度。所述粘合剂层可设置在所述基板和所述第一层之间。所述第一层可设置在所述粘合剂层和所述第二层之间。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
美国;US |
申请人: |
美国圣戈班性能塑料公司 |
发明人: |
A·迪盖;A·勒拉热 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2017-11-20T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-09-27T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201780073635.6 |
公开号: |
CN110291386A |
代理机构: |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 |
代理人: |
顾晨昕 |
分类号: |
G01N27/327(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
申请人地址: |
美国俄亥俄州 |
主权项: |
1.一种电极,包括: 基板; 粘合剂层; 第一层,所述第一层包含Ag、Cu、Ru或其组合;以及 第二层,所述第二层包含Au, 其中所述第二层具有不大于约25nm的厚度, 其中所述粘合剂层设置在所述基板和所述第一层之间,并且 其中所述第一层设置在所述粘合剂层和所述第二层之间。 2.一种电极,包括: 基板; 粘合剂层; 第一层,所述第一层包含Ag、Cu、Ru或其组合中的至少一者;以及 第二层,所述第二层包含Au, 其中所述第一层具有至少约5nm的厚度, 其中所述粘合剂层设置在所述基板和所述第一层之间,并且 其中所述第一层设置在所述粘合剂层和所述第二层之间。 3.一种电极,包括: 基板; 粘合剂层; 第一层,所述第一层包含Ag、Cu、Ru或其组合中的至少一者;以及 第二层,所述第二层包含Au, 其中所述电极包括至少约0.7的层厚比L1TH/L2TH,其中L1TH为所述第一层的厚度并且L2TH为所述第二层的厚度, 其中所述粘合剂层设置在所述基板和所述第一层之间,并且 其中所述第一层设置在所述粘合剂层和所述第二层之间。 4.根据权利要求1和2中任一项所述的电极,其中所述电极进一步包括至少约0.7的层厚比L1TH/L2TH,其中L1TH为所述第一层的厚度并且L2TH为所述第二层的厚度。 5.根据权利要求1、2和4中任一项所述的电极,其中所述电极进一步包括至少约0.8且不大于约5的层厚比L1TH/L2TH,其中L1TH为所述第一层的厚度并且L2TH为所述第二层的厚度。 6.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述电极具有至少约0.5Ohm/sq的薄片电阻。 7.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述电极具有不大于约35Ohm/sq的薄片电阻。 8.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述电极具有至少约7nm且不大于约60nm的厚度。 9.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述第一层由Ag组成。 10.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述第一层由Cu组成。 11.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述第一层由Ru组成。 12.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述第一层具有至少约2x10-6Ohm.cm的电阻率。 13.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述第一层具有不大于约30x10-6Ohm.cm的电阻率。 14.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述粘合剂层包含NiCr。 15.根据权利要求1、2和3中任一项所述的电极,其中所述第一层不含有氧化锡。 |
所属类别: |
发明专利 |