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原文传递用于检查部件的组件和方法

专利名称：	用于检查部件的组件和方法
摘要：	根据本发明，提供了一种使用组件来检查部件（10）的方法，该组件包括：相机（3），其具有固定位置；以及可移动载物台（5），其中，该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线（7）旋转并且可以沿两条线性轴线（9a、9b）线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线，该方法包括以下步骤：（a）在载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得部件的第一侧部面向相机；（b）使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上；（c）在第一部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第一侧部的图像。还提供了根据上文的组件，其附加地包括处理器，该处理器被构造成确定部件的图像是否在相机的焦点上，如果不在相机的焦点上，就确定可移动载物台的移动并启动可移动载物台以经历所确定的所述移动以便将所述部件移动到焦点上。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	瑞士;CH
申请人：	伊斯梅卡半导体控股公司
发明人：	J.帕拉特;P.阿布瑞尔;T.艾默
专利状态：	有效
申请日期：	2017-02-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201780081568.2
公开号：	CN110100175A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	吴超;谭祐祥
分类号：	G01N21/956(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	瑞士拉绍德封
主权项：	1.一种使用组件来检查部件的方法，所述组件包括：相机，其具有固定位置；以及可移动载物台，其中，所述可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于所述旋转轴线，所述方法包括以下步骤：在所述载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得所述部件的第一侧部面向相机；使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第一部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上；在所述第一部件的所述第一侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第一侧部的图像。 2.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：在将所述载物台维持在与捕获所述第一侧部的所述图像时相同的沿所述线性轴线的位置中的同时，使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第二侧部面向所述相机；在所述第一部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。 3.根据权利要求1或2所述的方法，其包括以下步骤：在将所述载物台维持在与捕获所述第一侧部的所述图像时相同的沿所述线性轴线的位置中的同时，从所述载物台移除所述第一部件；在所述载物台上提供呈预定取向的具有与所述第一部件相同的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向所述相机；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第二侧部的图像。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述第一部件是立方形的。 5.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：当所述第一部件的所述第一侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第一位置数据存储在存储器中；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第二侧部面向所述相机；使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第一部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；当所述第一部件的所述第二侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第二位置数据存储在存储器中；在所述第一部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。 6.根据权利要求5所述的方法，其包括以下步骤：使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第三侧部面向所述相机；从所述存储器检索所述第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第一部件的所述第三侧部移动到焦点上；在所述第一部件的所述第三侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第三侧部的图像；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第四侧部面向所述相机；从所述存储器检索所述第二位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第二位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第一部件的所述第四侧部移动到所述相机的焦点上；在所述第一部件的所述第四侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第四侧部的图像。 7.根据权利要求5或6中任一项所述的方法，其包括以下步骤：从所述载物台移除所述第一部件；在所述载物台上提供呈预定取向的具有与所述第一部件相同的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向相机；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；从所述存储器检索所述第二位置数据，并将所述载物台移动到对应于在所检索的所述第二位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第二部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第二侧部的图像。 8.根据权利要求7所述的方法，其还包括以下步骤：从所述存储器检索所述第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第二部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上。 9.根据权利要求5至8中任一项所述的方法，其中，所述第一部件是矩形-立方形的。 10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述方法还包括以下步骤：检查所捕获的图像以识别所述部件的所述侧部是否具有裂纹或被污染。 11.根据权利要求5至10中任一项所述的方法，其包括以下步骤：从所述载物台移除所述第一部件；在所述载物台上提供呈所述预定取向的具有不同于所述第一部件的尺寸的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向所述相机；从存储器检索第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；从所捕获的所述图像检测到所述第二部件不在所述相机的焦点上；使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第二部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上；在所述第二部件的所述第一侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第一侧部的图像；当所述第二部件的所述第一侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第三位置数据存储在存储器中；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第二部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；当所述第二部件的所述第二侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第四位置数据存储在存储器中；在所述第二部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。 12.一种用于检查部件的组件，所述组件包括：相机，其具有固定位置；以及可移动载物台，其中，所述可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于所述旋转轴线；处理器，其被构造成接收由所述相机捕获的图像并确定所述图像是否清晰，如果所述图像不清晰，则确定使所述部件移动到所述相机的焦点上所需的所述可移动载物台的移动，并启动所述可移动载物台来经历所述确定的移动以便将所述部件移动到所述相机的焦点上。
所属类别：	发明专利