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原文传递用ICP-MS对液体材料进行定量检测的方法

专利名称：	用ICP-MS对液体材料进行定量检测的方法
摘要：	本发明提供一种用ICP‑MS对液体材料进行定量检测的方法，其特征在于，将所述液体材料不经化学前处理而直接导入至位于形成等离子体火焰的中心部的等离子体焰炬，对液体材料中所含的杂质元素或杂质进行定量。本发明的方法无需繁琐的化学前处理，操作简单，并且样品不易污染，测定结果准确、再现性稳定，能够进行连续测定从而能够在制造工序中对液体材料进行监测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西安奕斯伟硅片技术有限公司
发明人：	宫尾秀一;张婉婉
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201910511659.6
公开号：	CN110108779A
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司
代理人：	陈彦;宋海花
分类号：	G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
主权项：	1.一种用ICP-MS对液体材料进行定量检测的方法，其特征在于，将所述液体材料不经化学前处理而直接导入至位于形成等离子体火焰的中心部的等离子体焰炬，对液体材料中所含的杂质元素或杂质进行定量。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述液体材料导入至等离子体焰炬之前，向所述液体材料中吹入非活性气体进行鼓泡，将主成分与杂质成分分离，然后将排出的气体导入至所述等离子体焰炬。 3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述液体材料导入至等离子体焰炬之前，将所述液体材料填充至容器后加热至所述液体材料的沸点以上，将主成分与杂质成分分离，使所述杂质成分在所述容器内的空间部滞留并浓缩，然后将所述空间部的气相导入至所述等离子体焰炬。 4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述液体材料相对于所述容器整体的容量比例为80～90体积％。 5.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，其特征在于，所述液体材料的导入量为0.3～3.5ml/min，所述ICP-MS中，使用氩气作为工作气体，其中，等离子体用氩气的流量为9000～16000ml/min，吹扫用氩气的流量为900～1100ml/min，载气用氩气的流量为500～1100ml/min。 6.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，其特征在于，所述液体材料为无机液体材料或有机液体材料。 7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述液体材料为无机液体材料时，所述液体材料的导入量为2.5～3.5ml/min，所述等离子体用氩气的流量为13000～16000ml/min，所述载气用氩气的流量为900～1100ml/min。 8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述无机液体材料为不含金属元素的液体材料或含有碱金属元素的液体材料；所述不含金属元素的液体材料优选为硝酸、过氧化氢、盐酸、氢氟酸；所述含有碱金属元素的液体材料优选为NaOH、KOH。 9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述有机液体材料为有机溶剂、有机磷化合物或有机硅烷；所述有机溶剂优选为异丙醇、甲醇、乙醇、丙二醇单甲基醚乙酸酯、氯仿或二氯甲烷，所述有机磷化合物优选为三丁基膦，所述有机硅烷优选为三氯硅烷或二氯硅烷。 10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述有机液体材料为有机溶剂时，所述液体材料的导入量为1.5～2.5ml/min，所述等离子体用氩气的流量为9000～13000ml/min，载气用氩气的流量为500～700ml/min，所述液体材料为有机磷化合物时，所述液体材料的导入量为0.3～0.6ml/min，所述等离子体用氩气的流量为9000～13000ml/min，载气用氩气的流量为500～700ml/min，所述液体材料为有机硅烷时，所述液体材料的导入量为0.5～1.5ml/min，所述等离子体用氩气的流量为14000～16000ml/min，载气用氩气的流量为400～1000ml/min。
所属类别：	发明专利