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原文传递硅片转运装置

专利名称：	硅片转运装置
摘要：	本实用新型公开了一种硅片转运装置，包括硅片入料装置、花篮入料装置和硅片入花篮装置，硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧，硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，花篮升降台与花篮翻转装置沿花篮输送线依次设置，通过硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧的设计，使得原先在硅片入花篮装置一侧执行的操作分化为两侧执行，使得原先只能放置一个硅片入料装置和一个花篮入料装置的位置现在能够放置至少两个硅片入料装置或花篮入料装置，因此大大提升了硅片和花篮的入料速度，进而大大提升了生产效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	无锡市江松科技有限公司
发明人：	刘德方;安迪;邱其伟
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201821986946.X
公开号：	CN209242152U
代理机构：	无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	王闯;葛莉华
分类号：	B65G49/07(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	214028 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块
主权项：	1.一种硅片转运装置，其特征在于，包括至少一个硅片入料装置、至少一个花篮入料装置和硅片入花篮装置，所述硅片入料装置和所述花篮入料装置分别设置在所述硅片入花篮装置的两侧，所述硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，所述花篮升降台与所述花篮翻转装置沿所述花篮输送线依次设置。 2.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，硅片入料装置包括硅片获取部、硅片输送部和硅片分选部，所述硅片获取部与所述硅片分选部沿所述硅片输送部依次设置。 3.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片获取部包括硅片顶升装置，硅片分离装置和硅片抓取夹爪，所述硅片顶升装置设置在所述硅片分离装置下方，所述硅片抓取夹爪设置在所述硅片分离装置的上方，所述顶升装置被配置于顶起所述硅片以让所述硅片抓取夹爪能够获取到硅片。 4.根据权利要求3所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片分离装置为相对设置的一对风刀，所述风刀通过风力分离粘附在一起的硅片。 5.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片分选部包括硅片检测装置和硅片筛选装置，所述硅片检测装置设置在所述硅片筛选装置前端，所述硅片检测装置包括硅片检测相机和补光光源，所述补光光源为所述检测相机提供更清晰的检测视野，所述硅片筛选装置包括硅片吸盘，所述硅片筛选装置根据所述检测相机提供的分析数据控制所述硅片吸盘将不合格的硅片搬离所述硅片输送部。 6.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述花篮翻转装置安装在所述花篮输送线上，所述花篮翻转装置包括花篮承载台与翻转动力装置，所述翻转动力装置带动所述花篮承载台进行翻转动作。 7.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述花篮承载台包括输送皮带、带动所述输送皮带转动的动力电机和带动所述输送皮带进行升降的升降电机。 8.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片转运装置还包括满载花篮出料装置，所述满载花篮出料装置包括三轴移动动力装置和花篮搬运夹爪，所述花篮搬运夹爪上设有与花篮外部结构契合的夹紧块。
所属类别：	实用新型