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原文传递硅片取放装置及硅片取放设备

专利名称：	硅片取放装置及硅片取放设备
摘要：	本实用新型公开了一种硅片取放装置，包括定位框、多对挡板、两个滑槽体、两个连接件；定位框包括两条立边、两条横边，两条立边上分别设有定位销和/或凹坑；多对挡板沿高度方向排列，多对挡板的固定端分别通过连接件与定位框连接；连接件的外侧固定设置有滑槽体，滑槽体的各个隔槽的位置与每个挡板的位置一一对应。本实用新型在取放硅片时不会碰到旁边的硅片，容易辨识硅片在承载盒中的准确位置，避免取到错误位置的硅片或将硅片放入错误的位置，且成本很低。本实用新型还公开了一种硅片取放设备。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海华虹NEC电子有限公司
发明人：	陆斌
专利状态：	有效
申请日期：	2010-09-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201020551495.4
公开号：	CN201849954U
代理机构：	上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：	张骥
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	201206 上海市浦东新区川桥路1188号
主权项：	一种硅片取放装置，其特征在于：包括定位框、多对挡板、两个滑槽体、两个连接件；定位框包括两条立边、两条横边，两条立边上分别设有定位销和/或凹坑；多对挡板沿高度方向排列，多对挡板的固定端分别通过连接件与定位框连接；连接件的外侧固定设置有滑槽体，滑槽体的各个隔槽的位置与每个挡板的位置一一对应。
所属类别：	实用新型