专利名称: |
基板取放设备及取放方法 |
摘要: |
本发明关于一种基板取放设备及取放方法,其结构包括:一承载平台,用以承载一基板;一伸缩装置,包括:一可折叠式支架,可折叠式支架设置于承载平台上方,进行水平方向的伸缩;多个吸附结构,设置于可折叠式支架的底部,该些吸附结构平均分布于可折叠式支架的区域范围,用以吸附基板;第一驱动单元,用以驱动可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及第二驱动单元,用以驱动伸缩装置进行垂直方向的升降;以及一输运装置,运作于承载平台与可折叠式支架之间;基板取放方式采取由上方以吸附结构进行基板取放。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
发明人: |
宋立 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810011877.9 |
公开号: |
CN108082940A |
代理机构: |
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 |
代理人: |
亓赢 |
分类号: |
B65G49/06(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I;B;G;B65;G02;B65G;G02F;B65G49;G02F1;B65G49/06;G02F1/13 |
申请人地址: |
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼 |
主权项: |
一种基板取放设备,其特征在于,包括:一承载平台,用以承载一基板;一伸缩装置,包括:一可折叠式支架,所述可折叠式支架设置于所述承载平台上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架伸出为展开状态时进入所述基板的区域范围,缩回为收起状态时退出所述基板的区域范围;多个吸附结构,设置于所述可折叠式支架的底部,该些吸附结构平均分布于所述可折叠式支架于展开状态时的区域范围,用以吸附所述基板;第一驱动单元,用以驱动所述可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及第二驱动单元,用以驱动所述伸缩装置进行垂直方向的升降;以及一输运装置,运作于所述承载平台与所述可折叠式支架之间,伸出时进入所述承载平台的区域范围,缩回时退出所述承载平台的区域范围。 |
所属类别: |
发明专利 |