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一种机械手自动硅片取放系统及方法
| 专利名称： | 一种机械手自动硅片取放系统及方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种机械手自动硅片取放系统，其在机械手后端的两侧 安装光发射器，机械手前端安装准直装置，硅片盒每个槽边都贴有识别标 记，机械手上还设有光探测器阵列。本发明还公开了一种机械手自动硅片 取放方法，光发射器将光通过准直装置射到识别标记上，并将识别内容反 射到光探测器阵列上，当光探测器阵列探测到该识别内容与待取出硅片所 在的槽的识别标记一致后，机械手将硅片取出或将硅片放入。本发明采用 激光通过准直装置照射到识别标记的方式，对硅片盒的放置情况及机械手 的变形情况进行监测，避免由于这些原因而 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 发明人： | 伍 强 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-07-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510027552.2 |
| 公开号： | CN1891591 |
| 代理机构： | 上海浦一知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 丁纪铁 |
| 分类号： | B65G49/07(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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