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原文传递检验容器以及电子显微镜

专利名称：	检验容器以及电子显微镜
摘要：	一种检验容器包含一主体、一盖体以及一载台。主体具有一容置槽以容置样品。盖体可拆卸地与主体连接以封闭容置槽。盖体具有一第一通孔，其贯穿盖体的一外侧表面以及一内侧表面，且包含一薄膜，其设置于盖体的内侧表面。薄膜具有与第一通孔相对的一第二通孔，以供一带电粒子束通过第一通孔以及第二通孔。载台的设置位置对应于第二通孔，且可拆卸地设置于容置槽内，以适用多种检验用途。同时亦揭露一种使用上述检验容器的电子显微镜。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	台湾电镜仪器股份有限公司
发明人：	黄祖纬;吴佳凌;刘铈谊;张茂展
专利状态：	有效
申请日期：	2018-02-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201810155155.0
公开号：	CN110186944A
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	贾磊;王涛
分类号：	G01N23/2251(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	中国台湾新竹市
主权项：	1.一种检验容器，其特征在于，其放置于一电子显微镜的一检验腔室以检验该检验容器中的一样品，其中该检验容器包含：一主体，其具有一容置槽以容置该样品；一盖体，其可拆卸地与该主体连接以封闭该容置槽，且该盖体具有一第一通孔，其贯穿该盖体的一外侧表面以及一内侧表面，且包含一薄膜，其设置于该盖体的该内侧表面，其中该薄膜具有与该第一通孔相对的一第二通孔，以供一带电粒子束通过该第一通孔以及该第二通孔；以及一载台，其设置位置对应于该第二通孔，且可拆卸地设置于该容置槽内，以适用多种检验用途。 2.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该盖体具有一薄化区域，其涵盖该第一通孔，以降低该第一通孔的侧壁高度。 3.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该第一通孔的侧壁高度与该第一通孔的宽度的比值小于或等于0.7。 4.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该容置槽具有一流体入口以及一流体出口，且该流体入口以及该流体出口至该盖体的距离大于该载台至该盖体的距离。 5.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，更包含：一样品垫块，其可拆卸地设置于该载台的一顶表面。 6.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该载台具有一直立表面，以供该样品站立抵靠于该直立表面。 7.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，更包含：一高度调整件，其设置于该载台的下方，以调整该载台至该盖体的距离。 8.如权利要求7所述的检验容器，其特征在于，该高度调整件以及该载台之间以一万向接头连接。 9.如权利要求7所述的检验容器，其特征在于，该高度调整件以电力驱动。 10.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该载台具有一控温流道，以供一控温流体于该控温流道内流动。 11.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，更包含：一控温组件，其设置于该主体的外侧。 12.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该第二通孔的侧壁具有一段差。 13.如权利要求1所述的检验容器，其特征在于，该盖体包含：一薄膜组件，其覆盖该容置槽的一开口端，并包含：一支撑件，其具有一第一表面、相对的一第二表面以及设置于该第一表面侧的一第一凹槽，其中该支撑件为平板状；以及一薄膜，其设置于该支撑件的该第二表面侧；以及一固定件，其可拆卸地与该主体结合，以固定该薄膜组件。 14.一种电子显微镜，其特征在于，包含：一检验腔室，其定义出一真空环境；一带电粒子束产生器，其与该检验腔室连接，用以于该检验腔室产生一带电粒子束；一检验容器，其放置于该检验腔室中，以接受该带电粒子束轰击，其中该检验容器包含：一主体，其具有一容置槽以容置一样品；一盖体，其可拆卸地与该主体连接以封闭该容置槽，且该盖体具有一第一通孔，其贯穿该盖体的一外侧表面以及一内侧表面，且包含一薄膜，其设置于该盖体的该内侧表面，其中该薄膜具有与该第一通孔相对的一第二通孔，以供一带电粒子束通过该第一通孔以及该第二通孔；以及一载台，其设置位置对应于该第二通孔，且可拆卸地设置于该容置槽内，以适用多种检验用途；以及一检测器，其用以检测该样品被该带电粒子束轰击的一响应，并转换为一电子信号。 15.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该盖体具有一薄化区域，其涵盖该第一通孔，以降低该第一通孔的侧壁高度。 16.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该第一通孔的侧壁高度与该第一通孔的宽度的比值小于或等于0.7。 17.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该容置槽具有一流体入口以及一流体出口，且该流体入口以及该流体出口至该盖体的距离大于该载台至该盖体的距离。 18.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该检验容器更包含：一样品垫块，其可拆卸地设置于该载台的一顶表面。 19.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该载台具有一直立表面，以供该样品站立抵靠于该直立表面。 20.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该检验容器更包含：一高度调整件，其设置于该载台的下方，以调整该载台至该盖体的距离。 21.如权利要求20所述的电子显微镜，其特征在于，该高度调整件以及该载台之间以一万向接头连接。 22.如权利要求20所述的电子显微镜，其特征在于，该高度调整件以电力驱动。 23.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该载台具有一控温流道，以供一控温流体于该控温流道内流动。 24.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该检验容器更包含：一控温组件，其设置于该主体的外侧。 25.如权利要求14所述的电子显微镜，其特征在于，该第二通孔的侧壁具有一段差。
所属类别：	发明专利