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原文传递薄膜组件、检验容器以及电子显微镜

专利名称：	薄膜组件、检验容器以及电子显微镜
摘要：	本发明提供一种薄膜组件、检验容器以及电子显微镜。该检验容器包含一主体、一薄膜组件以及一盖体。主体具有一容置槽以容置样品。薄膜组件覆盖容置槽的一开口端。薄膜组件包含一支撑件以及一薄膜。支撑件具有一第一表面以及一第二表面，其中支撑件为平板状，且具有一第一通孔，其贯穿第一表面以及第二表面。薄膜设置于支撑件的第二表面侧，且具有一第二通孔，其中第二通孔对应于第一通孔，且第二通孔可供一带电粒子束通过。盖体可拆卸地与主体结合，以固定薄膜组件。上述检验容器的薄膜组件易于更换且仅产生较少的耗材。同时亦揭露一种使用上述检验容器的电子显微镜。本发明以平板状的支撑件固定薄膜，操作者易于更换薄膜组件且仅会产生少量耗材。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	台湾电镜仪器股份有限公司
发明人：	黄祖纬;吴佳凌;刘铈谊;张茂展
专利状态：	有效
申请日期：	2018-02-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201810155124.5
公开号：	CN110186942A
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	贾磊;王涛
分类号：	G01N23/203(2006.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	中国台湾新竹市
主权项：	1.一种薄膜组件，其特征在于，包含：一支撑件，其具有一第一表面以及相对的一第二表面，其中该支撑件为平板状，且具有一第一通孔，其贯穿该第一表面以及该第二表面；以及一薄膜，其设置于该支撑件的该第二表面侧，且具有一第二通孔，其中该第二通孔对应于该第一通孔，且该第二通孔可供一带电粒子束通过。 2.如权利要求1所述的薄膜组件，其特征在于，该支撑件具有一薄化区域，其涵盖该第一通孔，以降低该第一通孔的侧壁高度。 3.如权利要求1所述的薄膜组件，其特征在于，该第一通孔的侧壁高度与该第一通孔的宽度的比值小于或等于0.7。 4.如权利要求1所述的薄膜组件，其特征在于，该支撑件的该第二表面具有一第二凹槽，该薄膜设置于该第二凹槽内，且该第二凹槽的深度小于该薄膜的厚度。 5.如权利要求4所述的薄膜组件，其特征在于，该第二凹槽的形状为圆形、方形或端点为圆形的方形。 6.如权利要求1所述的薄膜组件，其特征在于，该第二通孔的侧壁具有段差。 7.如权利要求1所述的薄膜组件，其特征在于，该第二通孔为圆孔、方孔或狭长孔。 8.一种检验容器，其特征在于，其放置于一电子显微镜的一检验腔室以检验该检验容器中的一样品，其中该检验容器包含：一主体，其具有一容置槽以容置该样品；一薄膜组件，其覆盖该容置槽的一开口端，其中该薄膜组件包含：一支撑件，其具有一第一表面以及相对的一第二表面，其中该支撑件为平板状，且具有一第一通孔，其贯穿该第一表面以及该第二表面；以及一薄膜，其设置于该支撑件的该第二表面侧，且具有一第二通孔，其中该第二通孔对应于该第一通孔，且该第二通孔可供一带电粒子束通过；以及一盖体，其可拆卸地与该主体结合，以固定该薄膜组件。 9.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，该支撑件具有一薄化区域，其涵盖该第一通孔，以降低该第一通孔的侧壁高度。 10.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，该第一通孔的侧壁高度与该第一通孔的宽度的比值小于或等于0.7。 11.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，该支撑件的该第二表面具有一第二凹槽，该薄膜设置于该第二凹槽内，且该第二凹槽的深度小于该薄膜的厚度。 12.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，该第二通孔的侧壁具有段差。 13.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，该盖体相对于该主体旋转，以锁合于该主体。 14.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，该容置槽具有一载台，其设置位置对应于该第二通孔。 15.如权利要求14所述的检验容器，其特征在于，该容置槽具有一流体入口以及一流体出口，且该流体入口以及该流体出口至该薄膜组件的距离大于该载台至该薄膜组件的距离。 16.如权利要求14所述的检验容器，其特征在于，该载台可拆卸地设置于该容置槽内。 17.如权利要求14所述的检验容器，其特征在于，该载台具有一直立表面，以供该样品站立抵靠于该直立表面。 18.如权利要求14所述的检验容器，其特征在于，该载台至该薄膜组件的距离为可调整的。 19.如权利要求14所述的检验容器，其特征在于，更包含：一样品垫块，其可拆卸地设置于该载台的一顶表面。 20.如权利要求14所述的检验容器，其特征在于，该载台具有一控温流道，以供一控温流体于该控温流道内流动。 21.如权利要求8所述的检验容器，其特征在于，更包含一控温组件，其设置于该主体的外侧。 22.一种电子显微镜，其特征在于，包含：一检验腔室，其定义出一真空环境；一带电粒子束产生器，其与该检验腔室连接，用以于该检验腔室产生一带电粒子束；一检验容器，其放置于该检验腔室中，以接受该带电粒子束轰击，其中该检验容器包含：一主体，其具有一容置槽以容置一样品；一薄膜组件，其覆盖该容置槽的一开口端，其中该薄膜组件包含：一支撑件，其具有一第一表面以及相对的一第二表面，其中该支撑件为平板状，且具有一第一通孔，其贯穿该第一表面以及该第二表面；以及一薄膜，其设置于该支撑件的该第二表面侧，且具有一第二通孔，其中该第二通孔对应于该第一通孔，且该第二通孔可供该带电粒子束通过，以轰击该样品；以及一盖体，其可拆卸地与该主体结合，以固定该薄膜组件；以及一检测器，其用以检测该样品被该带电粒子束轰击的一响应，并转换为一电子信号。
所属类别：	发明专利