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原文传递颗粒物检测装置

专利名称：	颗粒物检测装置
摘要：	本申请公开了颗粒物检测装置。具体包括：晶圆底部，其用于作为集成电路元件的载体；光源部，其用于发射激光光束；透镜部，其用于将激光光束通过处理后进入处理部；处理部，其用于处理所述激光光束；感光部，用于接收经由透镜部光束作用于颗粒物引起散射的光束并转化为电信号；集成电路元件部，其与所述感光部相连并安装在所述晶圆底部，用于处理接收到的电信号；结构部，其用于在所述晶圆底部上形成进风口结构、出风口结构以及激光通道结构。本申请解决了空气颗粒物传感器体积较大，可使用环境局限的问题。通过本申请中的颗粒物检测装置通过在晶圆通过一次封装后体积较小，可使用在手表、手机等微小型电子设备上显示空气颗粒物的实时测量数据。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳益杉创新科技有限公司
发明人：	罗柱华
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201821820692.4
公开号：	CN209264506U
代理机构：	北京卓唐知识产权代理有限公司
代理人：	唐海力;李志刚
分类号：	G01N15/06(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	518104 广东省深圳市宝安区沙井街道后亭茅洲山工业园工业大厦全至科技创新园科创大厦6层F
主权项：	1.一种颗粒物检测装置，其特征在于，包括：晶圆底部，其用于作为集成电路元件的载体；光源部，其用于发射激光光束；透镜部，其用于将激光光束通过处理后进入处理部；处理部，其用于处理所述激光光束；感光部，用于接收经由透镜部光束作用于颗粒物引起散射的光束并转化为电信号；集成电路元件部，其与所述感光部相连并安装在所述晶圆底部，用于处理接收到的电信号；结构部，其用于在所述晶圆底部上形成进风口结构、出风口结构以及激光通道结构。 2.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述处理部用于减弱激光光束。 3.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述感光部用于接收经由透镜部光束作用于颗粒物引起散射的光束。 4.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述感光部至少包括一有效接收面。 5.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述晶圆底部还包括：与外部载体连接的电性连接件。 6.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述进风口结构采用开口通道。 7.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述出风口结构采用开口通道。 8.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述感光部与所述进风口结构、所述出风口结构形成空气流道。 9.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述光源部设置有用于激光光束的隔离部。 10.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，还包括：罩体部，所述罩体部与晶圆底部相连。
所属类别：	实用新型