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原文传递使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法

专利名称：	使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法
摘要：	本发明提供使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法。静电吸附搬运装置构成为包含静电卡盘，该静电卡盘通过静电吸附吸来附作为搬运部件的被加工物并将其载置在载置面上，在经由上述静电卡盘的受电电极从电源的供电面受电之后，经由接地电极通过地线接地，由此在静电平衡已破坏的状态下，通过静电吸附来吸附被加工物并将其载置在载置面上。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	丰田自动车株式会社
发明人：	久野裕彦
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910090156.6
公开号：	CN110127379A
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	李洋;王培超
分类号：	B65G54/02(2006.01);B;B65;B65G;B65G54
申请人地址：	日本爱知县
主权项：	1.一种使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，包括：静电卡盘，其构成为：在载置面配置有静电电极，在与所述载置面不同的面配置有受电电极和接地电极，通过静电吸附对搬运部件进行吸附而将所述搬运部件载置在所述载置面上；输送机，其构成为使所述静电卡盘移动；电源，其具有供电面，该供电面构成为：在所述静电卡盘在所述输送机上移动时，所述供电面与所述受电电极接触，由此对所述静电电极施加电压；地线，其构成为：在所述静电卡盘在所述输送机上移动时，所述地线与所述接地电极接触，由此将所述静电卡盘接地；以及搭载装置，其构成为将所述搬运部件搭载在所述载置面上，其中，所述供电面与所述受电电极开始接触的供电开始位置设置于比由所述搭载装置向所述载置面上搭载所述搬运部件的搭载位置靠上游的位置，所述地线与所述接地电极开始接触的接地开始位置设置于比所述供电开始位置靠下游的位置，所述地线与所述接地电极结束接触的接地结束位置设置于比所述供电面与所述受电电极结束接触的供电结束位置靠上游的位置，所述静电卡盘构成为：所述静电卡盘在经由所述受电电极从所述供电面受电之后，经由所述接地电极通过所述地线接地，所述静电卡盘在静电平衡已破坏的状态下，通过静电吸附对所述搬运部件进行吸附而将所述搬运部件载置在所述载置面上。 2.根据权利要求1所述的使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，在所述接地开始位置与所述接地结束位置之间设置有所述搭载位置。 3.根据权利要求1或2所述的使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，所述静电卡盘包含铝板，所述受电电极通过所述铝板与所述静电电极电连接，所述接地电极与所述铝板电连接。 4.根据权利要求1～3中任一项所述的使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，所述供电面和所述地线相对于所述输送机而配置在相反侧。 5.根据权利要求1～4中任一项所述的使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，所述输送机设置为无接头环状，所述静电卡盘在所述输送机上环绕，并设置有用于使施加于在所述输送机上移动的所述静电卡盘的电压的极性反转的极性反转用供电面。 6.根据权利要求5所述的使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，所述极性反转用供电面构成为：相对于所述供电面独立设置，并且所述极性反转用供电面和所述供电面都利用所述电源的电压。 7.根据权利要求5所述的使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，所述电源由脉冲电源构成，利用所述脉冲电源在所述供电面形成有所述极性反转用供电面。 8.一种使用静电吸附的搬运方法，其特征在于，包括如下工序，即：在静电卡盘在输送机上移动时，使受电电极与供电面接触，由此从所述供电面向所述静电卡盘受电，其中，所述静电卡盘构成为：在载置面配置有静电电极，在与所述载置面不同的面配置有所述受电电极和接地电极，通过静电吸附将搬运部件载置在所述载置面上，所述输送机构成为使所述静电卡盘移动，所述供电面构成为包含于电源，对所述静电电极施加电压；在向所述静电卡盘受电之后，使所述接地电极与地线接触，由此将所述静电卡盘接地，其中，所述地线构成为将所述静电卡盘接地；利用搭载装置将所述搬运部件载置在所述载置面上，在所述静电卡盘中的静电平衡已破坏的状态下，通过静电吸附将所述搬运部件吸附在所述载置面上，其中，所述搭载装置构成为在所述静电卡盘的所述载置面上搭载所述搬运部件；以及对被吸附在所述载置面上的所述搬运部件进行搬运。
所属类别：	发明专利