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静电保持装置以及使用其的静电钳
| 专利名称： | 静电保持装置以及使用其的静电钳 |
| 摘要： | 提供一种静电保持装置，即使切断直流高压电源，也可进行长时间操 作。该静电保持装置将多个电极组(202a、202b)作为保持部(110)，并从 直流高压电源(122)向电极组(202a、202b)施加规定电压，且通过静电 力而将保持对象物(205)保持。包括：电极电位下降缓和装置(100)，当 通过开关(121a、121b)而与直流高压电源(122)切断时，缓和施加至电 极组(202a、202b)的电位的下降。该电极电位下降缓和装置(100)例如 包括电容器(102a、102b)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 筑波精工株式会社 |
| 发明人： | 傅宝莱 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-05-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680017381.8 |
| 公开号： | CN101180718 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 黄小临 |
| 分类号： | H01L21/67(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本栃木县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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