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原文传递热板表面的检测方法

专利名称：	热板表面的检测方法
摘要：	本发明公开了一种热板表面的检测方法，用以检测待测热板表面是否存有异物，检测方法包含以下步骤，对应待测热板以选择设定标准热板数据，再根据标准热板数据及待测热板的尺寸设定检测范围，接着利用影像捕获设备在检测范围内取得待测热板的至少一表面影像数据，最后再比对表面影像数据与标准热板数据，当检测出待测热板表面存有异物时，即对待测热板进行异物排除，并重新取得表面影像数据。藉此，本发明可以避免热板上有异物存在，故可预防后续制程因异物沾附热板所造成的芯片破裂。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	力成科技股份有限公司
发明人：	李国安
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201810231102.2
公开号：	CN110132973A
代理机构：	北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：	王玉双
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	中国台湾新竹县
主权项：	1.一种热板表面的检测方法，其特征在于，包含下列步骤：对应一待测热板选择设定一标准热板数据；根据该标准热板数据及该待测热板的尺寸设定一检测范围；利用一影像捕获设备于该检测范围内取得该待测热板的至少一表面影像数据；以及比对该至少一表面影像数据与该标准热板数据，当检测出该待测热板表面具有异物时，对该待测热板进行异物排除，并回到上一步骤。 2.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，在设定该标准热板数据前，更包含下列步骤：提供一标准热板；根据该标准热板进行检验频率及存盘路径的设定；根据该标准热板设定该影像捕获设备；以及扫描该标准热板，以形成该标准热板数据。 3.如权利要求2所述的热板表面的检测方法，其特征在于，该影像捕获设备根据该标准热板设定亮度及倍率。 4.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，比较该至少一表面影像数据与该标准热板数据的相似度为介于60％～100％之间，低于该相似度代表该待测热板表面存在有该异物。 5.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，该影像捕获设备为机台的镜头。 6.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，该至少一表面影像数据的数量大于2时，该影像捕获设备根据该待测热板的面积进行等比例切割，以使每一该表面影像数据的尺寸相等。 7.如权利要求6所述的热板表面的检测方法，其特征在于，每一该表面影像数据为独立的档案数据，以分别比对每一该表面影像数据与该标准热板数据，并分别记录比对的结果。 8.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，该异物排除为移除该待测热板上的该异物或清洁该待测热板。 9.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，在设定该标准热板数据、该检测范围及该至少一表面影像数据时，皆利用一通讯协议以同步转成数据导出及储存。 10.如权利要求9所述的热板表面的检测方法，其特征在于，该通讯协议为一SECS-GEM功能。 11.如权利要求1所述的热板表面的检测方法，其特征在于，该影像捕获设备自该待测热板的任一端上方开始移动，以完全取得该至少一表面影像数据。
所属类别：	发明专利