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原文传递一种折射率传感器及其制备方法

专利名称：	一种折射率传感器及其制备方法
摘要：	本发明涉及光学技术领域，具体为一种折射率传感器及其制备方法，所述方法包括：在预先提供的基底层上沉积第一金属材料，形成金属反射镜面，在所述金属反射镜面上制备电介质层，再在所述电介质层上涂抹有机材料，对其进行冷却、干燥处理后，再对所述有机材料进行电子束刻蚀处理，得到手性结构并在其表面沉积第二金属材料，使用浸泡液浸泡沉积了所述第二金属材料的所述手性结构，移除所述手性结构上的有机材料和多余的所述第二金属材料，得到手性超材料，基于所述手性超材料，制备得到折射率传感器。通过该方法，可以便捷地制备出精度高、结构简单且能够规避环境中噪声光源影响的折射率传感器。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	电子科技大学
发明人：	王志明;朱奕松;余鹏;童鑫;林峰;巫江
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201910541876.X
公开号：	CN110186872A
代理机构：	成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	李华;温黎娟
分类号：	G01N21/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	610054 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
主权项：	1.一种折射率传感器制备方法，其特征在于，包括：在预先提供的基底层上沉积第一金属材料，形成金属反射镜面；在所述金属反射镜面上制备电介质层；在所述电介质层上涂抹有机材料，对所述有机材料进行冷却、干燥处理；对干燥后的所述有机材料进行电子束刻蚀处理，得到手性结构；在所述手性结构的表面沉积第二金属材料；使用浸泡液浸泡沉积了所述第二金属材料的所述手性结构，移除所述手性结构上的有机材料和多余的所述第二金属材料，得到手性超材料；基于所述手性超材料，制备得到折射率传感器。 2.根据权利要求1所述的折射率传感器制备方法，其特征在于，在预先提供的基底层上沉积第一金属材料，形成金属反射镜面具体为：在所述基底层上沉积钛，形成粘附层；在所述粘附层上沉积第一金属材料。 3.根据权利要求1所述的折射率传感器制备方法，其特征在于，在所述金属反射镜面上制备电介质层具体为：使用物理气相沉积方法，在所述金属反射镜面上制备二氧化硅电介质层。 4.根据权利要求1所述的折射率传感器制备方法，其特征在于，在所述电介质层上涂抹有机材料，对所述有机材料进行冷却、干燥处理具体为：在所述电介质层上涂抹聚甲基丙烯酸甲酯材料；在所述聚甲基丙烯酸甲酯材料上刻蚀出直角梯形形状结构；冷却、干燥所述直角梯形形状结构后得到手性超材料。 5.根据权利要求1所述的折射率传感器制备方法，其特征在于，所述手性超材料在近红外波段具有圆二色性；所述第一金属材料和所述第二金属材料为金或者银。 6.根据权利要求5所述的折射率传感器制备方法，其特征在于，当所述第二金属材料为银时，使用银与铝共沉积法，进行铝掺杂，使所述手性超材料的表面钝化。 7.根据权利要求1所述的折射率传感器制备方法，其特征在于，使用浸泡液浸泡沉积了所述第二金属材料的所述手性结构，移除所述手性结构上的有机材料和多余的所述第二金属材料，得到手性超材料具体为：使用加热至预设温度的丙酮溶液，浸泡所述手性结构，移除所述手性结构上的有机材料和多余的所述第二金属材料；基于圆二色光源，对所述手性超材料进行测试和标定，得到手性超材料。 8.一种折射率传感器，其特征在于，包括手性超材料、金属反射镜面、电介质层和基底层，所述金属反射镜面、所述电介质层和所述手性超材料依次堆叠于所述基底层上；所述手性超材料在近红外波段具有圆二色性，其表面存在对环境敏感的等离子体共振效应。 9.根据权利要求8所述的折射率传感器，其特征在于，所述电介质层为二氧化硅介质层。 10.根据权利要求8所述的折射率传感器，其特征在于，所述金属反射镜面的材质为金或银。
所属类别：	发明专利