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原文传递一种硅棒U形弯的切割分离装置

专利名称：	一种硅棒U形弯的切割分离装置
摘要：	本实用新型公开了一种硅棒U形弯的切割分离装置，包括切割装置、用于旋转切割装置的旋转装置、切割装置移动导轨；所述切割装置连接在所述旋转装置上，所述切割装置在牵引力带动下在所述切割装置移动导轨上运动；所述切割装置包括切割传输装置和金刚线圈，所述金刚线圈的一端套在所述切割传输装置的第一凹槽上，所述金刚线圈的另一端套在硅棒U形弯处。本实用新型可以有效实现成对区熔硅棒的分离，且分离过程中不会对硅棒造成额外的机械损伤，避免硅棒内部可能出现的细微结构缺陷。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏鑫华半导体材料科技有限公司
发明人：	于跃;高召帅;李福中;姜浩;吴锋
专利状态：	有效
申请日期：	2018-08-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201821297684.6
公开号：	CN209257250U
代理机构：	南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	张南南;肖明芳
分类号：	B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号
主权项：	1.一种硅棒U形弯的切割分离装置，其特征在于，包括切割装置、用于旋转切割装置的旋转装置(1)、切割装置移动导轨(2)；所述切割装置连接在所述旋转装置(1)上，所述旋转装置(1)和切割装置移动导轨(2)通过轨道连接；所述切割装置包括切割传输装置(3)和金刚线圈(4)，所述切割传输装置(3)设有凹槽圈(31)和连接旋转装置(1)的连接孔(32)；所述金刚线圈(4)的一端套在所述凹槽圈(31)上，所述金刚线圈(4)的另一端套在硅棒U形弯处；所述旋转装置(1)设有和所述连接孔(32)相配合的凸起(11)，还包括用于在所述切割装置移动导轨(2)的轨道(21)上移动的滚轮(12)。 2.根据权利要求1所述的切割分离装置，其特征在于，所述切割分离装置还包括用于切割装置的牵引装置(5)，所述牵引装置(5)包括电机(51)和与电机(51)连接的切割装置移动牵引线(52)，所述切割装置移动牵引线(52)和旋转装置(1)通过所述旋转装置(1)上的切割装置牵引线卡环(14)固定连接。 3.根据权利要求1所述的切割分离装置，其特征在于，所述切割分离装置还包括切割角度调整导轨(6)，所述切割角度调整导轨(6)设有凹槽(61)，所述切割装置移动导轨(2)的一端在所述凹槽(61)内移动从而调整切割装置的切割角度。 4.根据权利要求1所述的切割分离装置，其特征在于，所述金刚线圈(4)的直径为100-200μm，长度为1000-1500mm。 5.根据权利要求1所述的切割分离装置，其特征在于，所述切割传输装置(3)为圆柱体，直径为80-120mm。 6.根据权利要求1所述的切割分离装置，其特征在于，所述切割传输装置(3)的材质为橡胶。 7.根据权利要求1所述的切割分离装置，其特征在于，所述切割分离装置还包括用于冷却切割装置的冷却装置(7)。
所属类别：	实用新型