详情

原文传递一种上下片台升降机构

专利名称：	一种上下片台升降机构
摘要：	本实用新型公开了一种上下片台升降机构，包括升降驱动装置和基片托架，升降驱动装置上方设置有基片托架；所述的升降驱动装置包括下支撑板、上支撑板、驱动汽缸、下油压缓冲器、上油压缓冲器、限位调节缓冲块、导向杆和直线轴承，驱动汽缸安装在上支撑板上，直线轴承与导向杆固定后通过螺丝安装在上支撑板上，下支撑板与基片托架通过螺丝与导向杆相连，上支撑板上还设置有上油压缓冲器、限位调节缓冲块，下支撑板上设置有下油压缓冲器。本实用新型结构设计合理，操作简单可靠，对操作人员的使用、后期维护要求不高，对环境要求低，能在高温或低温环境下正常工作，防尘防水，可以适应很多恶劣的使用环境，实用性强。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海子创镀膜技术有限公司
发明人：	张俊峰;赵子东;许春立;张大剑
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201821962768.7
公开号：	CN209259591U
分类号：	B66F7/16(2006.01);B;B66;B66F;B66F7
申请人地址：	201505 上海市金山区金山工业区金飞路808号
主权项：	1.一种上下片台升降机构，其特征在于，包括升降驱动装置(1)和基片托架(2)，升降驱动装置(1)上方设置有基片托架(2)；所述的升降驱动装置(1)包括下支撑板(101)、上支撑板(102)、驱动气缸(103)、下油压缓冲器(104)、上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106)、导向杆(107)和直线轴承(108)，驱动气缸(103)安装在上支撑板(102)上，直线轴承(108)与导向杆(107)固定后通过螺丝安装在上支撑板(102)上，下支撑板(101)与基片托架(2)通过螺丝与导向杆(107)相连，上支撑板(102)上还设置有上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106)，下支撑板(101)上设置有下油压缓冲器(104)。 2.根据权利要求1所述的一种上下片台升降机构，其特征在于，所述的上支撑板(102)上设置有气缸限位孔，保证了气缸安装的位置度。 3.根据权利要求1所述的一种上下片台升降机构，其特征在于，所述的驱动气缸(103)通过螺丝固定在上支撑板(102)上。
所属类别：	实用新型