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原文传递上下片机构

专利名称：	上下片机构
摘要：	一种自动上下片机构，包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构，机械臂组件机构中的机械臂从送片机构上方的花篮中取出晶圆片送到预对位机构进行预对位，然后机械臂组件机构旋转90°把晶圆片送到测试装置的承片台上进行相关测试；待测试完成后，机械臂再把晶圆片从测试装置的承片台上卸下来，送回花篮，同时送上另外一片已经预对位好的晶圆片，如此反复直至完成整个测试。由于本实用新型采用了两个机械臂，使得整个上下片过程变得快速、流畅，从而节省了换片时间，提高了整机的测试效率。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市矽电半导体设备有限公司
发明人：	唐小飞;胡泓
专利状态：	有效
申请日期：	2007-11-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200720304905.3
公开号：	CN201115957
代理机构：	北京英特普罗知识产权代理有限公司
代理人：	李敏
分类号：	B25J3/00(2006.01)I
申请人地址：	518172广东省深圳市龙岗区龙城清林西路深圳市留学人员创业园一园412室
主权项：	1、一种上下片机构，其特征在于，包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构；送片机构包括堆放装置和连接在其下方的使其升降的升降组件；预对位机构包括预对位台和连接在其下方控制其上下运动的预对位装置；机械臂组件机构包括上机械臂、下机械臂和机械臂驱动装置，机械臂驱动装置使上机械臂和下机械臂来回水平直线运动；上机械臂与下机械臂纵向并列布置；上机械臂和下机械臂的中轴线位于同一垂直平面内；机械臂组件机构与一转动装置相连，转动装置可使机械臂组件机构水平转动。
所属类别：	实用新型