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原文传递 观察装置及观察方法
专利名称: 观察装置及观察方法
摘要: 观察装置(1)是观察观察对象(S)的观察装置,具备:照射用光源(2),其产生照射光(L1);投影用光源(3),其产生投影光(L2);扫描镜(10),其朝向观察对象(S)以同一光路扫描照射光(L1)与投影光(L2);导光光学系统(G),其不经由扫描镜(10)而将对应于照射光(L1)的照射而在观察对象(S)产生的被检测光(L3)进行导光;光检测器(5),其检测由导光光学系统(G)导光的被检测光(L3);及控制部(6),其基于被检测光(L3)的检测结果而控制投影光(L2)的强度。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 日本;JP
申请人: 浜松光子学株式会社
发明人: 高桥聪;松田俊辅;宫下贵行;三轮光春
专利状态: 有效
申请日期: 2017-10-12T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-30T00:00:00+0800
申请号: CN201780083962.X
公开号: CN110192101A
代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人: 杨琦
分类号: G01N21/64(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 日本静冈县
主权项: 1.一种观察装置,其特征在于, 是观察观察对象的观察装置, 具备: 第1光源,其产生照射光; 第2光源,其产生投影光; 光扫描元件,其朝向所述观察对象以同一光路扫描所述照射光与所述投影光; 导光光学系统,其不经由所述光扫描元件而将对应于所述照射光的照射而在所述观察对象产生的被检测光进行导光; 光检测器,其检测由所述导光光学系统导光的所述被检测光;及 控制部,其基于所述被检测光的检测结果而控制所述投影光的强度。 2.如权利要求1所述的观察装置,其特征在于, 包含所述光扫描元件的光扫描系统的光轴与所述导光光学系统的光轴一致。 3.如权利要求1所述的观察装置,其特征在于, 包含所述光扫描元件的光扫描系统的光轴与所述导光光学系统的光轴不一致。 4.如权利要求1~3中任一项所述的观察装置,其特征在于, 所述照射光为激发光。 5.如权利要求4所述的观察装置,其特征在于, 所述照射光的波长为400nm~810nm。 6.如权利要求1~4中任一项所述的观察装置,其特征在于, 所述照射光的波长为由所述观察对象吸收的波长。 7.如权利要求6所述的观察装置,其特征在于, 所述照射光的波长为735nm~850nm。 8.如权利要求1~7中任一项所述的观察装置,其特征在于, 所述投影光的波长为与所述照射光的波长不同的波长。 9.如权利要求8所述的观察装置,其特征在于, 所述投影光的波长为380nm~780nm。 10.如权利要求1~9中任一项所述的观察装置,其特征在于, 所述光检测器为单点传感器。 11.如权利要求1~10中任一项所述的观察装置,其特征在于, 还具备基于所述被检测光的检测结果而生成图像的图像生成部。 12.如权利要求1~11中任一项所述的观察装置,其特征在于, 所述导光光学系统的视野包含所述光扫描元件对所述照射光的扫描范围。 13.一种观察方法,其特征在于, 是观察观察对象的观察方法, 包含: 第1光产生步骤,其产生照射光; 第2光产生步骤,其产生投影光; 光扫描步骤,其通过光扫描元件朝向所述观察对象以同一光路扫描所述照射光与所述投影光; 导光步骤,其通过导光光学系统,不经由所述光扫描元件而将对应于所述照射光的照射而在所述观察对象产生的被检测光进行导光; 检测步骤,其通过光检测器检测由所述导光光学系统导光的所述被检测光;及 控制步骤,其基于所述检测步骤中的所述被检测光的检测结果而控制所述投影光的强度。 14.如权利要求13所述的观察方法,其特征在于, 使包含所述光扫描元件的光扫描系统的光轴与所述导光光学系统的光轴一致。 15.如权利要求13所述的观察方法,其特征在于, 使包含所述光扫描元件的光扫描系统的光轴与所述导光光学系统的光轴不一致。 16.如权利要求13~15中任一项所述的观察方法,其特征在于, 将所述照射光设为激发光。 17.如权利要求16所述的观察方法,其特征在于, 将所述照射光的波长设为400nm~810nm。 18.如权利要求13~16中任一项所述的观察方法,其特征在于, 将由所述观察对象接受吸收的波长设为所述照射光的波长。 19.如权利要求18所述的观察方法,其特征在于, 将所述照射光的波长设为735nm~850nm。 20.如权利要求13~19中任一项所述的观察方法,其特征在于, 将与所述照射光的波长不同的波长设为所述投影光的波长。 21.如权利要求20所述的观察方法,其特征在于, 将所述投影光的波长设为380nm~780nm。 22.如权利要求13~21中任一项所述的观察方法,其特征在于, 将单点传感器用作所述光检测器。 23.如权利要求13~22中任一项所述的观察方法,其特征在于, 还包含基于所述被检测光的检测结果而生成图像的图像生成步骤。 24.如权利要求13~23中任一项所述的观察方法,其特征在于, 在所述导光光学系统的视野中包含所述光扫描元件对所述照射光的扫描范围。
所属类别: 发明专利
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